Valve à vide suisse VAT Domestic stock Supply - valve vendeur

Valve à vide suisse VAT Domestic stock Supply - valve vendeur

Caractéristiques applications de compteur pour différents types de valves:

Vannes de vannes à vide – généralement idéales pour les applications isolées ou plus simples de contrôle. La profondeur d'installation est étroite et la conductivité maximale (résistance de flux minimale), mais l'espace de déplacement de la porte l'exige. Ceux - ci peuvent également prendre la forme de vannes à fente de vide, de vannes de transfert de vide ou de vannes de vide par lesquelles le produit est introduit dans la Chambre de traitement sous vide.

Valve d'angle de vide – valve de vide universelle à usage général. Les dimensions sont très compactes et généralement très modulaires en termes d'étanchéité, d'actionneurs et de capteurs. Conductivité moyenne, très facile à entretenir. Très bien, avec une contrôlabilité très précise si nécessaire.

Vanne papillon à vide – principalement pour les applications de contrôle. Profondeur d'installation très étroite, bonne conductivité, contrôlabilité rapide et précise.

Valve pendulaire à vide – profondeur d’installation très étroite et dimensions compactes combinées à un comportement de contrôle très précis, très bonne capacité d’isolation et très haute conductivité.

Vannes de régulation de vide symétriques – type spécial qui optimise un comportement d’écoulement très uniforme de la première ouverture à l’ouverture complète de la vanne.

Soupapes de dosage de gaz ou soupapes de fuite – en particulier pour le dosage très fin, par exemple pour le dosage de gaz de process à faible débit.

Soupape de décharge ou soupape d’échappement – la soupape de sécurité permet au système de vide d’être contrôlé, généralement ventilé, et empêche le dépassement des conditions de pression spécifiées.

Clapet anti - retour à vide – passif, une vanne fonctionnant avec un débit volumique et une pression différentielle. Il est généralement utilisé pour protéger les systèmes de vide contre la contamination par le reflux. Par exemple, entre la pompe de retour sous vide et le système de vide.

Vanne à fermeture rapide – vanne de protection active qui protège généralement un volume de vide plus important ou une chambre à vide contre les pertes de vide dues aux fuites. Caractéristiques principales: réaction de fermeture très rapide à la chute de pression détectée. Dans les applications UHV et xhv, il est généralement pris en charge par des vannes à vide sectorielles (généralement des vannes à vide) pour assurer une isolation étanche même avec des différences de pression très élevées.

Valves entièrement métalliques pour le vide – un ensemble de valves de vide spécialement conçues pour les conditions de pression, de température et de rayonnement. Caractéristiques principales: étanchéité dure sur dure (métal sur métal) au lieu d'étanchéité élastique, car l'étanchéité élastique ne peut pas résister aux conditions de service.

Dispositif multivalve à vide – type spécial de valve à vide qui combine les fonctions de plusieurs valves à vide en une seule unité. Caractéristiques principales: réduction du nombre de composants, assemblage rapide. Il est généralement personnalisé selon les exigences du client.

Soupape de vide à 3 positions – forme spéciale de soupape d’isolation du vide dans laquelle, en plus des positions de fermeture et d’ouverture, un troisième niveau de soupape peut être défini. Une application est par example d'éviter les impulsions de pression dues à une ouverture trop rapide de la vanne lors d'une différence de pression. Dans la troisième position, la pression de contact sur la bague d'étanchéité diminue légèrement pendant un court laps de temps, sans ouverture notable de la vanne, ce qui permet une variation de pression plus douce.

En plus de ces types de base, il existe un grand nombre de variantes hybrides, dont certaines combinent différentes technologies de vannes ou offrent des solutions pour certaines exigences particulières.

Qu'est - ce qu'une valve de vide haute performance?

Les vannes à vide dans ces applications diffèrent des vannes à vide standard en ce qui concerne:

Emissions de particules minimisées

La vanne à vide haute performance est optimisée pour ne pas libérer de particules par le matériau de son boîtier, de ses mécanismes ou de ses joints, ni par le frottement de son ouverture et de sa fermeture ou de son mouvement contrôlé. Ceci est réalisé par un choix et un traitement spéciaux des matériaux utilisés, ainsi que par certains détails de conception qui peuvent minimiser ou, dans certains cas, éliminer la libération de particules.

Impulsions de mouvement minimisées

Chaque Valve génère une impulsion de mouvement par son mouvement d'ouverture et de fermeture. Dans le cas d'une valve à entraînement automatique, ces impulsions peuvent varier d'une légère vibration à un choc dur audible et perceptible. Ces impulsions de mouvement peuvent avoir un impact négatif sur les processus de fabrication sensibles, par exemple par la libération de particules supplémentaires. Outre les caractéristiques de conception, les vannes à vide haute performance réduisent ces impulsions principalement en contrôlant ce que l'on appelle la courbe de mouvement. Semblable à la façon dont les ascenseurs de passagers fonctionnent, la fermeture ralentit peu de temps avant d'atteindre le point de fermeture pour éviter les « impacts». Ces courbes de mouvement peuvent généralement être modifiées, par example en termes de temps de fermeture et de fréquence de fermeture, elles peuvent être adaptées aux conditions souhaitées.

Chimie neutre et comportement physique

La vanne à vide modifie toujours l'uniformité de la Chambre de processus sous vide, quelle que soit sa forme. Cela se produit en partie en raison de sa géométrie. Un rétrécissement ou un élargissement du chemin d'écoulement peut modifier la résistance à l'écoulement et la vitesse de l'écoulement, ou un angle mort, tel que l'espace de déplacement d'une plaque de vanne, peut faciliter le processus de dépôt. Cela se produit également par des mouvements d'ouverture et de fermeture qui modifient le comportement d'écoulement ainsi que la concentration, la distribution, le mélange et la température des gaz de processus. Les vannes à vide haute performance sont optimisées pour compenser au mieux cet effet ou les rendre contrôlables. Pour ce faire, diverses technologies supplémentaires ont été intégrées à la conception, qui vont bien au - delà des fonctions de base de la vanne, telles que l'ouverture et la fermeture ou la commande.

Comportement reproductible précis

Les vannes à vide haute performance se distinguent des solutions standard principalement par leur comportement hautement reproductible. Cela signifie que, alors que les solutions standard présentent des fluctuations dans chaque mouvement individuel d'ouverture et de fermeture et présentent des écarts par rapport aux valeurs de performance qu'elles définissent lors de l'utilisation, les vannes à vide haute performance sont optimisées pour toujours présenter le même comportement lors d'une utilisation prolongée, définie dans des limites très étroites. Cela signifie qu'ils sont capables de stabiliser le processus de vide et de réduire la complexité du contrôle du processus à zuidi.

Quels sont les types de valves de vide?

Les vannes à vide, comme les autres vannes, utilisent certains principes mécaniques de base tels que des vannes, des disques de clapet ou des disques rotatifs pour séparer ou isoler la zone de vide et contrôler le débit volumique. Cependant, les conditions de base pour l'utilisation de ces principes mécaniques sont différentes pour Wanquan. Par exemple, des particules à haut degré de liberté, un contrôle précis des écoulements de très petits volumes, une étanchéité, des vibrations et des chocs minimaux sont des caractéristiques essentielles. Ces moyens mécaniques élémentaires sont donc généralement conçus différemment pour les vannes à vide. Par exemple, les mécanismes de fermeture sont généralement conçus pour se fermer sans frottement et provoquer un minimum de vibrations et de chocs, le cas échéant. De plus, le mouvement de contrôle peut être dosé avec une extrême finesse, l'étanchéité étant optimisée pour ne libérer idéalement aucune particule dont les caractéristiques statiques ou dynamiques restent stables pendant une utilisation prolongée.

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