Taylor Hobson: le topographieur sans contact CCI Lite utilise le principe d'interférence CCI (algorithme de corrélation cohérente de la technologie brickley) pour mesurer avec une grande précision la topographie de surface, la rugosité de surface, les dimensions 3D et 2D, l'analyse de détection des défauts de surface et générer des rapports statistiques.
Topographie sans contact Taylor Hobson au Royaume - Uni: le topographie sans contact CCI Lite utilise le principe d'interférence CCI (algorithme de corrélation cohérente de la technologie brickley) pour mesurer avec une grande précision la topographie de surface, la rugosité de surface, les dimensions 3D et 2D, l'analyse de détection des défauts de surface et générer des rapports statistiques;
Royaume - Uni Taylor Hobson topographie sans contact:
1. Base d'amortissement et colonne:
Base en fonte d'aluminium: combiné à l'absorption des chocs par flottaison d'air pour améliorer la stabilité et la précision de répétition des mesures
Colonne de structure en acier: améliore la robustesse et la stabilité de la boucle de mesure et réduit l'impact des chocs externes
2. Paramètres du système
(1)Types d'interférences:CCIInterférence, algorithme de corrélation cohérente tillehopson brickley
(2)Gamme de mesure:2.2mm(Standard), > 10mm est adopté épissure de données
(3)Résolution:0.1 A
(4) RMSRépétabilité:<0.02nm
(5)Vitesse de balayage vertical: 7 UM / s
(6)Nombre de points de mesure:1 1024 x 1024Matrice de points
(7) X YPlage de mesure unique de l'axe: 0,36 – 7,2 mm
(8) X YRésolution de l'axe:0.4-0.6um(
(9)Répétabilité de la hauteur des marches: > 0,1%
(10)Bruit du système:<0.08nm
(11)Temps de mesure: échantillon typique 5 - 20 secondes
(12) réflectivité de la pièce testée:0,3 à 100%