Instrument de contrainte de surface de film mince

Instrument de contrainte de surface de film minceEst un équipement de détection de précision dans la fabrication de semi - conducteurs spécialement conçu pour mesurer les contraintes du film mince sur la plaquette, basé sur la technologie de balayage laser, principalement utilisé pour analyser la distribution des contraintes du matériau du film mince, l'imagerie de courbure et les contraintes résiduelles et d'autres paramètres.

FLATSCANInstrument de contrainte de surface de film minceUn profilomètre de surface optique sans contact avec une large plage de mesure, adapté pour des mesures 2D ou 3D de haute précision de la contrainte de la plaquette (contrainte du film mince), de la courbure de la surface (rayon), ainsi que de la pente.

Principe de mesure optique pour la mesure de contour de surface

FLATSCANTesteur de stress de film mincePour la mesure sans contact de la planéité, de la courbure de surface, du rayon moyen et de la contrainte du film mince (contrainte de la plaquette) sur diverses surfaces réfléchissantes telles que des silices, des miroirs, des miroirs à rayons X (miroirs de goebel), des surfaces métalliques ou des polymères polis. Le principe de mesure optique assure une grande précision. Elle est basée sur la mesure de l'angle de réflexion d'un faisceau laser incident vertical le long d'une ligne à pas constant. Le profil de surface peut être calculé avec précision à partir de la variation de l'angle de réflexion entre les points de mesure. Pour certaines applications, l'angle de réflexion lui - même (pente de surface) est également important. Le logiciel offre donc également cette option de mesure.

Dans l'application de la technologie des semi - conducteurs, la contrainte du film mince du revêtement (contrainte de la plaquette) peut être calculée en mesurant le rayon de courbure de la plaquette avant et après le revêtement.

Grande zone de mesure

Une caractéristique du principe de mesure utilisé est qu'il est indépendant de la zone de mesure. Ainsi, un diamètre de champ de mesure standard de 200 mm peut être augmenté presque arbitrairement sans diminuer la précision.

Haute précision de mesure

Les jauges de contrainte à film mince flatscan se caractérisent par une grande précision de mesure. La résolution du système de mesure peut atteindre 0,1 arcsec. La reproductibilité des formes de surface est meilleure que 100 nm.

Grande portée de mesure et grande distance de travail

La plage de mesure est la hauteur sagittale maximale (ou le rayon de courbure minimal mesurable) qui peut être mesurée en un seul balayage. Une grande caractéristique de flatscan est la gamme de mesure extrêmement large, ce qui n'est pas possible avec d'autres méthodes de mesure concurrentes telles que les interféromètres à franges ou les interféromètres à déphasage.

Les jauges de contrainte de film mince flatscan sont donc adaptées à la mesure de surfaces à forte courbure, telles que des miroirs de goebel, des plaques de silicium ou d'autres surfaces similaires. Le principe de mesure optique adopté n'est pas affecté par la distance de travail et assure une distance de travail élevée, de sorte qu'il n'y a pas de risque d'endommagement de l'échantillon.

Mesure 2D / 3D en option

Selon le type d'appareil, vous pouvez choisir de faire un scan à une ligne ou un scan 3D complet. Le scan 3D est composé de nombreuses combinaisons automatiques de scans monolignes avec une fonction de positionnement automatique des échantillons. Le logiciel offre toutes les fonctionnalités habituelles pour la représentation graphique et numérique des résultats de mesure, telles que la caractérisation 3D, les profils et les rapports de mesure.

Module logiciel pour le calcul des contraintes des films minces

Le logiciel est équipé d'un module de calcul des contraintes des films minces basé sur la théorie de fowkes, adapté à la technologie des semi - conducteurs et à toutes les applications impliquant des modifications de surface telles que le revêtement ou l'élimination du revêtement, permettant une mesure rapide et facile des contraintes des films minces. La contrainte du film est calculée à partir du rayon de courbure moyen avant et après le processus de revêtement.

Principaux paramètres techniques:

1, mesure sans contact par faisceau laser

2, avec la fonction de mesurer automatiquement le profil, la courbure et la contrainte de film de la plaquette

3, répétabilité de la courbure de surface (P - V) ≤ 100nm

4, résolution du système de mesure optique: 0.1arcsec

5, précision du système de mesure optique: 1arcsec

6, vitesse de balayage: 10 ~ 30mm / s

7, gamme mesurable: Standard φ200mm, 300mm, plus grand peut être personnalisé