Microscope électronique à balayage par émission de champ à ultra haute résolution regulus8100

La « série Regulus » est une marque entièrement nouvelle de Fe - SEM de haute technologie d'Hitachi, y compris le « Regulus 8100 » développé en tant que successeur du su8010 et la mise à niveau de la série su8200 « Regulus 8220 », « Regulus 8230 », « Regulus 8240 », soit 4 modèles, tous avec une résolution et une fonctionnalité améliorées.

Microscopie électronique à balayage (SEM) est largement utilisé dans la nanotechnologie, les semi - conducteurs? Observation de la structure des matériaux dans l'industrie électronique, les sciences de la vie, la science des matériaux, etc. Ces dernières années, la nouvelle génération d'applications électroniques a été largement attendue dans la recherche de nouveaux matériaux à base de carbone, de matériaux polymères, de matériaux composites, etc. en tant que technologie d'épine dorsale de la science et de la technologie de pointe, qui est populaire dans le monde entier. La microscopie électronique à balayage est - elle largement utilisée pour l'observation de ces matériaux? Évaluation, mais avoir une super haute résolution est loin d'être suffisant. L'observation des structures subtiles de la surface et l'analyse élémentaire de haute sensibilité sont également requises à basse tension d'accélération. En outre, la stabilité continue et la confiance dans les performances des miroirs électriques sont recherchées au cours de la recherche à long terme.

Les nouvelles optiques électroniques de la marque « Regulus Series » de ce lancement ont été optimisées pour permettre à la tension d’atterrissage d’améliorer la résolution d’environ 20% à 1 kV par rapport aux modèles précédents. "Regulus8220 / 8230 / 8240" atteint une résolution de 0,9 nm et "regulus8100" une résolution de 1,1 nm. De plus, le canon à électrons à champ froid le mieux adapté à l'observation hautement résolue à basse tension d'accélération peut agrandir les détails de l'échantillon et obtenir des images de haute qualité. Le grossissement maximal a également été augmenté de 1 million à 2 millions de fois par rapport au précédent.
En outre, afin de mieux répondre aux tests et à la maintenance de différents échantillons et de fournir des performances élevées, l'énergie auxiliaire de l'utilisateur a également été renforcée, telles que les fonctions d'assistance au fonctionnement du système de détection de signal, les fonctions d'assistance à la maintenance, etc.

Caractéristiques principales

1. Pistolet électronique à champ froid équipé d'une aberration chromatique minimale adapté à l'observation haute résolution à basse tension d'accélération

2. Résolution améliorée d'environ 20% par rapport aux modèles précédents
   (Regulus 8220/8230/8240 : 0,9 nm/1 kV, Regulus 8100 : 1,1 nm/1 kV)

3. Augmentation du grossissement maximal de 1 million à 2 millions de fois^{* 1}

4. Fonction d'aide à l'utilisateur pour aider les utilisateurs à tirer pleinement parti des hautes performances de l'instrument

Paramètres principaux

* 1 regulus8240 / 8230 / 8220 uniquement

* 2 observation du mode de décélération

* 3 grossissement du champ de vision de 127 mm × 95 mm

* 4 TABLE moteur 5 axes en option