Table de sonde de changement de température modulaire XYZ

Hcp421v - MPS la Série Mini table de sonde de bureau sous vide d'instec est une table de sonde de bureau qui peut pointer des sondes mobiles de l'extérieur, couvrant plusieurs modèles, plusieurs plages de température. Tout en permettant le contrôle de la température, le test électrique de la sonde, l'observation optique et le contrôle de l'environnement du gaz de l'échantillon. Le couvercle de la table de sonde et la coque inférieure forment une cavité étanche qui peut être évacuée et peut également être remplie de gaz de protection tels que l'azote pour empêcher le givrage de l'échantillon à température négative ou l'oxydation à haute température.

Table de sonde de changement de température modulaire XYZCaractéristiques fonctionnelles

Table de sonde à température contrôlée de type mimi pouvant être intégrée à divers appareils optiques

Contrôle Programmable de la température, couvrant - 190 ℃ ~ 400 ℃

Convient pour plaquettes et dispositifs de 10 mm ~ 26 mm

Cavité aspirable, peut également être chargée de gaz de protection

Quatre sondes indépendantes, la sonde peut être déplacée de l'extérieur de l'appareil pour le pointage,

Conception modulaire, peut être combiné librement

* peut être amélioré à 8 sondes indépendantes

Peut être contrôlé à partir d'un thermostat ou d'un logiciel d'ordinateur, logiciel SDK disponible

Connecteur SMA à quatre sondes BNC, aiguille à pointer manuelle

XYZ modulaireParamètres de contrôle de température de la table de sonde de changement de température

Plage de température - 190 ℃ ~ 400 ℃ (la température négative doit être refroidie avec de l'azote liquide)

Bloc chauffant matériel argent

Capteur / méthode de contrôle de la température

Vitesse de montée en température maximale 100Ω Platinum RTD / PID Control (avec alimentation à réduction de bruit lvdc)

30 ℃ / min

Vitesse minimale de contrôle de la température ± 0,01 ℃ / min

Résolution de température 0,01 ℃ capteur RTD

Stabilité de la température ± 0,05 ℃ (> 25 ℃), ± 0,1 ℃ (< 25 ℃)

Fonction logicielle réglable taux de contrôle de la température, programme de contrôle de la température réglable, peut enregistrer la courbe de contrôle de la température

Paramètres électriques

Sonde par défaut sonde de courbure en matériau rhénium - tungstène

Bras de sonde mobile depuis l'extérieur XYZ

Aiguille à pointer déplace l'aiguille à pointer de l'extérieur, chaque porte - sonde peut être pointé n'importe où sur la zone d'échantillon

L'interface de sonde est par défaut SMA Connector to BNC

* peut ajouter une colonne de câblage dans la cavité (cordon de mise à l'électricité de l'échantillon)

Le potentiel de comptoir d'échantillon est la masse électrique par défaut, suspension électrique optionnelle (comme contre - électrode), interface triple coaxiale optionnelle

Paramètres optiques

Chemin optique applicable chemin optique réfléchissant

Vitres vitres amovibles et remplaçables

Distance minimale de travail de l'objectif 8 / 12 mm (en option) * WD en coupe

Feuille de fenêtre de couverture supérieure plage de fenêtre d'observation φ 45mm, angle de vue maximal ± 50° * θ 1 en coupe

Dégivrage de feuille de fenêtre à température négative ligne de dégivrage de soufflage

Paramètres structurels

Échantillon applicable diamètre 26 mm (standard)

Cavité d'échantillon hauteur 4 / 8 mm (en option)

Bras de sonde mobile depuis l'extérieur XYZ

Mode de réglage grossier + mode de réglage fin, XY réglage grossier 20mm

Course de réglage fin XY 10mm, réglage fin Z 3mm

Précision de réglage 10um

Cavité à vide contrôlée par atmosphère, peut également être chargée de gaz de protection

Refroidissement de l'enceinte par circulation d'eau pour maintenir la température de l'enceinte près de la température normale

Dimensions du plateau / poids 300 mm x 300 mm x 40 mm / 4kg

Liste de configuration

Configuration de base table de sonde de bureau sous vide, Contrôleur de température mk2000b

Support de montage, système de réfrigération à l'azote liquide, système de refroidissement par eau à circulation de boîtier, objectif microscopique, table antichoc, système de vide, table de source de test, BNC tri - coaxial, suspension électrique de comptoir, cordon de mise à l'eau pour échantillon

Applications typiques

Tests de propriétés électriques caractérisant des dispositifs en couches minces, matériaux bidimensionnels, nanomatériaux et matériaux moléculaires / organiques

Nécessite une mise à la terre électrique de la surface du bloc chauffant, une interface BNC coaxiale, une interface BNC triple coaxiale

Nécessite une sonde de tungstène - rhénium, une sonde de cuivre béryllium ou une sonde d'autres matériaux

Nécessitant un déplacement XYZ de la sonde intra - Mesh depuis l'extérieur

Plaquettes, dispositifs semi - conducteurs, circuits intégrés, circuits imprimés, panneaux photovoltaïques, tests LCD / LED

Mesure des caractéristiques IV et CV, tension de claquage, courant de fuite, résistance, constante diélectrique et efficacité de la diode

Hcp402v - MPS plage de température autres modèles disponibles

Plage de température tp102v - MPS - 40 ℃ ~ 180 ℃, zone d'échantillon, 40mm * 40mm

Hcp421v - MPS plage de température - 190 ℃ ~ 400 ℃, zone d'échantillon

Φ26mm - 190 ℃ ~ 400 ℃, zone d'échantillon 50mm * 50mm

Hp1000g - MPS plage de température 35 ℃ ~ 1000 ℃, zone d'échantillon 25mm * 25mm, Chambre étanche à l'air

Modèle personnalisé personnalisé selon les besoins du client, échantillon de disque de 300mm maximum applicable