Domaine potentiel technologie capacitif Composite Vacuum meter

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Le vacuomètre Composite capacitif (pirani) combine la technologie de capteur à couche mince en céramique Capacitive et les avantages du capteur Pira dans un seul produit, tout en combinant une grande précision et une large gamme.

Détails du produit

Domaine potentiel technologie capacitif Composite Vacuum meter(pirani)

Domaine potentiel technologie pirani capacitif Composite Vacuum meterCombinez la technologie de capteur à couche mince en céramique Capacitive avec les avantages du capteur Pila dans un seul produit, tout en combinant une grande précision et une large gamme.

Gamme de mesure3,8 × 10^-5< retourà1500 Torr, la Section de vide grossier adopte un capteur à film mince capacitif en céramique, la précision de mesure est élevée et indépendante du type de gaz. Utilisation de sections de vide plus élevéesMEMSCapteur pirani. Il convient à la mesure de la plage de vide neutre et grossière, de nombreuses applications pour le contrôle auto - bloquant, le circuit de sécurité du système, la mesure de la pression du vide à l'étage avant et la mesure et le contrôle précis de la pression. Est la pression contrôlée dans la gamme de vide Moyen - grossier à la recherche du rapport qualité - prixBonLe choix.

Avantages

1.Capteur de pression de type composite

lhaute précision(10 Torr - 1500 Torr)< inférieur à la lecture0,5%),Indépendamment de la composition du gaz

lLarge gamme(3,8 × 10–5 Torrà1500Tor)

2.Haute performance

3.Signal de sortie riche

lFacile à intégrer, riche en interfaces pour répondre à divers besoins d'intégration du système

lIndépendantType CDiagnostic, débogage, configuration des interfaces

4.Fonction de sortie de déclenchement de pression

5.Fonction d'affichage d'écran en temps réel de pression

Domaine potentiel technologie capacitif Composite Vacuum meter(pirani)

Paramètres techniques

indicateur	Spécifications techniques
Gamme de mesure	3,8 × 10^-5Torr à 1500 Torr
Précision	3,8 × 10^-5 - 1×10^-⁴Lecture Torr ± 50% @ étalonnage azote / air; 1×10^-4- précision de 20 Torr ± 15% @ étalonnage azote / air; 0,05 - 10torr précision ± 10% @ ne dépend pas du type de gaz (facultatif); 10 - 1500torr précision ± 0,5% @ ne dépend pas du type de gaz (facultatif);
Résolution	0,001 % FS
Options de température interne de l'appareil	Température non constante, algorithme de compensation de température
Temps de préchauffage	10 minutes
température ambiante	0à40℃
Fonction de déclenchement	soutien
sortie	ConfigurableSortie analogique 0 - 10vdc, > 10K ohms; Sortie RS422 (RS485 en option)
Connecteurs électriques	FCC68 8 broches(facultatifPrise de type D - Sub 9 broches); Prise M8, 5 pieds, prise de type trou
Alimentation d'entrée	9 ~ 36VDC;3 W
Limitation de la surpression	2000 Torr
Matériaux exposés aux gaz de Process	316L, céramique d'alumine, silicium, silice, Nitrure de silicium, aluminium, verre, or, caoutchouc
Temps de réponse du capteur	≥ 20torr 25 millisecondes; < 20torr 50 millisecondes
Direction de Calibration	N'importe quelle direction
Volume intérieur	1.1ml (ne contient pas d'interface d'échantillonnage)

Pirani vacuomètreBasé surPrincipe de conduction thermique, en mesurant le taux de dissipation de chaleur du fil chauffant dans un environnement sous vide (avec la densité moléculaire du gaz/Variations de pression) des variations de résistance ou de température induites, permettant une mesure indirecte de la pression du vide.

Technologie Cie., Ltd de domaine de HangzhouAxé sur la fourniture de services et de solutions techniques liés au débit, à la pression, à la détection et au contrôle du vide aux clients industriels et scientifiques, l'agent de la société distribue aux États - UnisALICAT、 Des marques telles que vogtlin en Suisse, MKS aux États - Unis et Ebara au Japon, associées aux produits de l'Agence, fournissent aux clients des solutions de surveillance du débit et de la pression de haute qualité afin d'améliorer la R & D et l'efficacité de la production des clients, d'améliorer les processus de fabrication des clients, de promouvoir la recherche et l'innovation des clients.

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