Domaine potentiel technologie capacitif film métallique Vacuum meter

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Vue d'ensemble

Le vacuomètre à couche mince de métal capacitif de technologie de potentiel de domaine (type de complément de température) adopte une conception Capacitive différentielle à double électrode unilatérale, le matériau exposé au gaz de procédé est tout l'alliage Inconel / incoloy.

Détails du produit

Domaine potentiel technologie capacitif film métallique Vacuum meter(type de complément thermique)

Le vacuomètre à membrane métallique capacitif de type de complément de température adopte une conception Capacitive différentielle à double électrode unilatérale, les matériaux exposés aux gaz de processus sont tousInconel / IncoloyAlliage, circuit frontal ultra - haute sensibilité et * algorithme, garantit une sensibilité et une précision de mesure élevées sous pression de fonctionnement, une réponse rapide, des performances stables, une forte résistance à la corrosion, un algorithme de compensation de température unique aide le produit à être rapide et stable. Offert1 Torrà1000 TorrGamme complète avec faible coût et haute performanceCaractéristiques, convient aux environnements de production et de traitement difficiles tels que l'industrie du revêtement, les applications de semi - conducteurs et de plasma，Pour sonFournit des performances stables.

Avantages

1.Capteur capacitif à haute tension différentiel à couche mince métallique de type à compensation de température

lHautement sensible

lHaute précision et répétabilité

lHaute stabilité à long terme

lAccès rapide à l'état de fonctionnement

2.Les capteurs sont tous robustes et résistants à la corrosionInconel合金

lNe dépend pas du gaz, le résultat de la mesure est indépendant de la composition du gaz

lPermet une utilisation avec des gaz corrosifs ou sales

lLe matériau du vacuomètre ne pollue pas le processus

3.Signal de sortie riche

lFacile à intégrer, riche en interfaces pour répondre à divers besoins d'intégration du système

lIndépendantType CDiagnostic, débogage, configuration des interfaces

4.Fonction de sortie de déclenchement de pression

lSortie du signal de déclenchement de pression par relais

Domaine potentiel technologie capacitif film métallique Vacuum meter(type de complément thermique)

Paramètres techniques

indicateur	Spécifications techniques
Échelle pleine échelle	1torr, 10torr, 100torr, 1000torr,定制
Précision	± 0,5% de lecture
Résolution	0,001 % FS
Coefficient de température zéro% pleine échelle / ℃	0015%
Coefficient de température de gamme% de lecture / ℃	0,02%
Plage de lecture recommandée	0,005V à 10V@FS
Plage de pression de contrôle recommandée	0,05V à 10V@FS
Options de température interne de l'appareil	Température non constante, algorithme de compensation de température
Temps de préchauffage	30 minutes
température ambiante	0à40℃
Fonction de déclenchement	soutien, interrupteur à double position à un couteau à deux voies, la distribution peut être réglée0.1% ~ 100% FS pression arbitraire, capacité de relais 0.6A@30VDC
Fonction de sortie de défaut	Optionnel, sortie par relais défaut de température constante et défaillance de l'équipement
sortie	Sortie analogique 0 - 10vdc, > 10K ohms; Sortie RS422 (RS485 en option)
Connecteurs électriques	D-Sub， 15 pieds, prise de type aiguille; M8 insertion,7Pieds, prise de type trou
Alimentation d'entrée	± 15vdc (± 5%), 24VDC (± 5%) ou 20 ~ 26vdc;5 watts
Limitation de la surpression	45Psia
Matériaux exposés aux gaz de Process	Le tube d'admission estMatériel 316L, le reste est Inconel et incoloy alliage
Temps de réponse du capteur	25 millisecondes
Direction de Calibration	Calibrage vertical par défaut, calibrage horizontal facultatif
Volume intérieur	5.1ml (ne contient pas l'interface d'admission)

Technologie Cie., Ltd de domaine de HangzhouAxé sur la fourniture de services et de solutions techniques liés au débit, à la pression, à la détection et au contrôle du vide aux clients industriels et scientifiques, l'agent de la société distribue des marques telles que American alit, Swiss vogtlin, US MKS, Japan Ebara, ainsi que les produits de l'agent pour fournir aux clients des solutions de surveillance du débit et de la pression de haute qualité, dans le but d'améliorer la R & D et l'efficacité de la production des clients, d'améliorer les processus de fabrication des clients, de promouvoir la recherche et le progrès de l'innovation des clients.

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