Domaine potentiel technologie capacitif film métallique Vacuum meter

Domaine potentiel technologie capacitif film métallique Vacuum meter(type haute température)

Le vacuomètre à film mince de métal capacitif de type à haute température adopte une conception Capacitive différentielle à double électrode unilatérale, les matériaux exposés aux gaz de processus sont tousInconel / IncoloyAlliage, circuit frontal ultra - haute sensibilité et * algorithme, garantit une sensibilité et une précision de mesure élevées sous pression de fonctionnement, une réponse rapide, des performances stables, une forte résistance à la corrosion, fournit150℃à200℃Deux versions à haute température améliorent considérablement l'effet de la substance déposée sur le diaphragme capacitif, fournissant1 Torrà1000 TorrGamme pleine échelle avec d'excellentes performances pour les semi - conducteurs exigeants、PlasmaetPurification de matériaux à haut risque, etc.Le domaine, c'estIdéal pour la mesure et le contrôle précis de la pression totale.

Avantages

1.Capteur capacitif différentiel à haute température à film mince métallique

lHautement sensible

lHaute précision et répétabilité

lHaute stabilité à long terme

2.Les capteurs sont tous robustes et résistants à la corrosionInconel合金

lNe dépend pas du gaz, le résultat de la mesure est indépendant de la composition du gaz

lPermet une utilisation avec des gaz corrosifs ou sales

lLe matériau du vacuomètre ne pollue pas le processus

3.Signal de sortie riche

lFacile à intégrer, riche en interfaces pour répondre à divers besoins d'intégration du système

lIndépendantType CDiagnostic, débogage, configuration des interfaces

4.Fonction de sortie de défaut/Fonction de sortie de déclenchement de pression

lSortie par relais: défaillance de la température constante et défaillance de l'équipement/Signal de déclenchement de pression

Domaine potentiel technologie capacitif film métallique Vacuum meter(type haute température)

Paramètres techniques

indicateur	Spécifications techniques
Échelle pleine échelle	1torr, 10torr, 100torr, 1000torr,定制
Précision	± 0,5% de lecture
Résolution	0,001 % FS
Plage de lecture recommandée	0,005V à 10V@FS
Plage de pression de contrôle recommandée	0,05V à 10V@FS
Options de température interne de l'appareil	150℃，200℃
Temps de préchauffage	4 heures
température ambiante	15 à50℃
Fonction de déclenchement	En option, commutateur à double position à un couteau à deux voies, la distribution peut être réglée0.1% ~ 100% FS pression arbitraire, capacité de relais 0.6A@30VDC
Fonction de sortie de défaut	Optionnel, sortie par relais défaut de température constante et défaillance de l'équipement
sortie	Sortie analogique 0 - 10vdc, > 10K ohms; Sortie RS422 (RS485 en option)
Connecteurs électriques	D-Sub， 15 pieds, prise de type aiguille; Prise M8, 5 pieds, prise de type trou
Alimentation d'entrée	± 15vdc (± 5%), 24VDC (± 5%) ou 20 ~ 26vdc; Le pic50W@150℃，70W@200℃
Limitation de la surpression	45Psia
Matériaux exposés aux gaz de Process	Le tube d'admission estMatériel 316L, le reste est Inconel et incoloy alliage
Temps de réponse du capteur	50 millisecondes
Direction de Calibration	Calibrage vertical par défaut, calibrage horizontal facultatif
Volume intérieur	5.1ml (ne contient pas l'interface d'admission)

Technologie Cie., Ltd de domaine de HangzhouAxé sur la fourniture de services et de solutions techniques liés au débit, à la pression, à la détection et au contrôle du vide aux clients industriels et scientifiques, l'agent de la société distribue aux États - UnisALICAT、 Des marques telles que vogtlin en Suisse, MKS aux États - Unis et Ebara au Japon, associées aux produits de l'Agence, fournissent aux clients des solutions de surveillance du débit et de la pression de haute qualité afin d'améliorer la R & D et l'efficacité de la production des clients, d'améliorer les processus de fabrication des clients, de promouvoir la recherche et l'innovation des clients.