Domaine potentiel technologie capacitif film métallique Vacuum meter

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Vue d'ensemble

Le vacuomètre à couche mince de métal capacitif de technologie de potentiel de domaine (type chauffant) Adopte la conception Capacitive différentielle à double électrode unilatérale, les matériaux exposés au gaz de procédé sont tous des alliages Inconel / incoloy.

Détails du produit

Domaine potentiel technologie capacitif film métallique Vacuum meter（Type de chauffage) et

Le vacuomètre à film métallique capacitif chauffé adopte une conception Capacitive différentielle à double électrode unilatérale, les matériaux exposés aux gaz de processus sont tousInconel / IncoloyAlliage, circuit frontal ultra - haute sensibilité et * algorithme, garantit une sensibilité et une précision de mesure élevées sous pression de fonctionnement, une réponse rapide, des performances stables et une forte résistance à la corrosion45℃à120℃Plusieurs versions thermostatiques,0,1 Torrà1000 TorrUne gamme complète de gammes à pleine échelle avec d'excellentes performances, idéale pour la mesure et le contrôle précis de la pression totale des semi - conducteurs et des plasmas exigeants, la purification de matériaux à haut risque, etc.

DMG100Les capteurs de pression de série ont des fonctions de sortie de relais de défaut de température constante et de défaut d'équipement.

Avantages

1.Capteur capacitif à haute tension différentiel à film mince métallique de type thermostatique

lHaute sensibilité

lHaute précision et répétabilité

lHaute stabilité à long terme

2.Les capteurs sont tous robustes et résistants à la corrosionInconel合金

lNe dépend pas du gaz, le résultat de la mesure est indépendant de la composition du gaz

lPermet une utilisation avec des gaz corrosifs ou sales

lLe matériau du vacuomètre ne pollue pas le processus

3. Signal de sortie riche

lFacile à intégrer, riche en interfaces pour répondre à divers besoins d'intégration du système

lIndépendantType CDiagnostic, débogage, configuration des interfaces

4.Fonction de sortie de défaut/Fonction de sortie de déclenchement de pression

lSortie par relais: défaillance de la température constante et défaillance de l'équipement/Signal de déclenchement de pression

Domaine potentiel technologie capacitif film métallique Vacuum meter（Type de chauffage) et

Paramètres techniques

indicateur	Spécifications techniques
Échelle pleine échelle	0,1 Torr,1 Torr,10 Torr,100 Torr,1000 Torr
Précision	≥ 1 Torr ± 0,25%La lecture, <1 Torr ± 0,50%La lecture de
Résolution	0,001 % FS
Plage de lecture recommandée	0,005V à 10V@FS
Plage de pression de contrôle recommandée	0,05V à 10V@FS
Options de température interne de l'appareil	45℃,80℃,100℃
Temps de préchauffage	2heure≥ 1 Torr;4Heures <1 Torr
température ambiante	15à40℃@45℃Température interne constante
Fonction de déclenchement	En option, commutateur à double position à un couteau à deux voies, la distribution peut être réglée0,1% ~ 100% FSToute pression, capacité de relais0.6A@30VDC
Fonction de sortie de défaut	Optionnel, sortie par relais défaut de température constante et défaillance de l'équipement
sortie	0-10VDCSortie analogique, >10KOhm;RS422Sortie (RS485Facultatif)
Connecteurs électriques	D-sous，15Pieds, prise de type aiguille;M8Insertion aérienne,5Pieds, prise de type trou
Alimentation d'entrée	±15VDC（± 5%),24 VDC（± 5%) ou20 ~ 26VDC;Le pic40W@100 ℃,35W@45 ℃
Limitation de la surpression	45Psia
Matériaux exposés aux gaz de Process	Le tube d'admission est316LMatériel, le reste estInconeletIncoloy合金
Temps de réponse du capteur	≥ 1 à 25Millisecondes; <1 à 50Millisecondes
Direction de Calibration	Calibrage vertical par défaut, calibrage horizontal facultatif
Volume intérieur	5,1 ml(ne contient pas d'interface d'échantillonnage)

Technologie Cie., Ltd de domaine de HangzhouAxé sur la fourniture de services et de solutions techniques liés au débit, à la pression, à la détection et au contrôle du vide aux clients industriels et scientifiques, l'agent de la société distribue aux États - UnisALICAT、 Des marques telles que vogtlin en Suisse, MKS aux États - Unis et Ebara au Japon, associées aux produits de l'Agence, fournissent aux clients des solutions de surveillance du débit et de la pression de haute qualité afin d'améliorer la R & D et l'efficacité de la production des clients, d'améliorer les processus de fabrication des clients, de promouvoir la recherche et l'innovation des clients.

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