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Agilent Technologies (China) Co., Ltd
Spectrophotomètre Agilent: un « moteur optique» pour les tests de performance des composants optiques des machines de lithographie habilitantes
Date :2025-10-29Lire :1
Alors que les nœuds de processus avancés continuent de progresser, la position de la machine de lithographie laser excimère ARF 193 nm dans la fabrication de semi - conducteurs devient de plus en plus importante. Son intérieur contient un grand nombre d'éléments optiques de haute précision, tels que des lentilles de projection, des réticules, des Polariseurs, des déviateurs, des miroirs, etc., dont les propriétés optiques déterminent directement la résolution, l'uniformité et la rentabilité du motif de la puce.
Comment évaluer avec précision la perméabilité, la réflectivité, la réponse de polarisation et la dépendance angulaire de ces éléments lors de la recherche, du développement et de la production de masse?Les spectrophotomètres UV visible proche infrarouge des séries cary4000 / 5000 / 6000i / 7000 d'Agilent sont la solution idéale à ce défi.
Voici les éléments optiques courants dans les machines de lithographie et leurs besoins de test:
Test de perméabilité pour lentilles, fenêtres, masques, etc.
Test de réflectivité à 45° du miroir
Test du rapport d'extinction du polariseur au déviateur
Ces éléments d'essai et les exigences imposent des exigences élevées sur la capacité d'essai du spectrophotomètre, la difficulté d'essai se reflète principalement dans:
193 nm appartient à la région de l'ultraviolet profond (duv), où de petits changements environnementaux et la contamination de l'échantillon affectent l'absorption de la lumière dans cette bande, de sorte que le processus de test impose des exigences élevées en matière de stabilité de l'appareil.
De petites erreurs dans les indicateurs tels que le taux de transmission, la réflectivité, le taux d'extinction des éléments lithographiques peuvent entraîner une distorsion du motif ou une défaillance du processus, ce qui impose des exigences élevées en matière de précision et de répétabilité des équipements de détection.
Le test grand angle de 193 nm nécessite l'introduction d'un polariseur, mais le matériau du polariseur dans cette bande est coûteux, difficile à traiter et vulnérable à la contamination.
La zone ultraviolette cary4000 / 5000 / 6000i / 7000 d'Agilent utilise une source lumineuse à lampe au deutérium qui peut couvrir une gamme de longueurs d'onde allant jusqu'à 175 nm, équipée d'un détecteur à tube photomultiplicateur (PMT) qui garantit une réponse ultra - haute sensibilité dans les bandes basses; Dans le même temps, l'instrument utilise une conception à double faisceau, qui peut corriger en temps réel les fluctuations de la source lumineuse et les interférences environnementales, améliorant efficacement la répétabilité et la précision des tests; En outre, les utilisateurs peuvent personnaliser l'accessoire de polarisation UV profonde avec l'application d'accessoire UMA pour réaliser la mesure du rapport de réflexion et d'extinction sous un grand angle de polarisation S / p.
Gauche: Agilent cary4000 / 5000 / 6000i / 7000
Droite: Agilent cary7000
Capacité d'essai du Spectrophotomètre UV visible proche infrarouge de la série Cary d'Agilent dans la bande basse:
Pièce de quartz de test d'hôte: 190 - 270 nm, perméabilité 0°, 10 mesures répétées.
10 tests à 193 nm avec une différence extrême Max - min de 0,02% T.
Test de l'hôte feuille de quartz 0 ° perméabilité 10 résultats de répétabilité
Accessoires de transmission Multi - angles et de réflectivité absolue (UMA) entièrement automatiques avec un miroir en aluminium personnalisé pour le test de polariseur ultraviolet extrême: 190 - 380 nm, réflectivité absolue de 45 °.
Le rapport signal sur bruit à 193 nm est bon pour RP et RS sous grand angle.
UMA accessoires test miroir aluminium 45° réflectivité absolue résultats
Aujourd'hui, dans un processus avancé en constante évolution, les tests de performance des composants optiques sont passés de « optionnel» à « lien critique».Agilent cary4000 / 5000 / 6000i / 7000 série spectrophotomètre, avec sa haute précision, haute efficacité, caractéristiques fonctionnelles complètes, soutenir le développement de la colle de lithographie, la sélection des composants optiques, l'évaluation du vieillissement des matériaux, la vérification de la conformité du revêtement et d'autres applications de liaison, dans son processus joue un rôle important dans l'analyse de mesure de haute précision pour aider les ingénieurs à localiser rapidement les problèmes, optimiser le processus, améliorer la précision, aider le processus de lithographie à un niveau supérieur.Alors que la technologie de fabrication de semi - conducteurs continue d'évoluer, la demande d'analyse de mesure de composants optiques sera de plus en plus fine, et la gamme Cary d'Agilent continuera à fournir un support technique solide pour ce processus.