Le revêtement du pulvérisateur ionique entièrement automatique est uniforme et bien conducteur, grâce à sa technologie de Pulvérisation magnétron, à son système de contrôle de précision et à sa capacité de sélection de cibles multiples, avec les avantages spécifiques suivants:

I. la technologie de Pulvérisation magnétron garantit l'uniformité du revêtement

1. Conception d'optimisation du champ magnétique: améliorez l'uniformité de la densité du plasma en ajustant la forme de l'aimant, la manière dont il est disposé ou en déplaçant le champ magnétique, de sorte que le taux de pulvérisation de différents endroits de la surface cible converge, améliorant ainsi l'uniformité de la couche de membrane. Par example, l'optimisation de la distance de la cible au substrat permet d'éviter une accumulation inégale de particules pulvérisées, assurant une épaisseur uniforme du film.

Régulation dynamique de la distance cible - base: l'expérience a montré que la différence d'épaisseur du film à différents points du substrat diminue progressivement et que l'uniformité augmente considérablement à mesure que la distance cible - substrat augmente. Cette caractéristique permet au pulvérisateur ionique de s'adapter à des échantillons de différentes tailles et formes, permettant un revêtement de haute précision.

3. Puissance de pulvérisation et contrôle synergique du degré de vide: augmenter la puissance de pulvérisation peut élargir la zone de rayonnement de la surface cible, ce qui rend la densité de puissance plus uniforme; L'amélioration du vide peut réduire la probabilité de collision entre les atomes de pulvérisation et les atomes de gaz à l'intérieur de la chambre et optimiser davantage l'uniformité de l'épaisseur du film. Ce double mécanisme de contrôle assure la stabilité de la qualité du placage.

II. Système de contrôle de précision de pulvérisateur d'ions entièrement automatique pour améliorer les performances de conductivité

1. Technologie de contrôle de courant constant: avec l'alimentation de pulvérisation DC à courant constant de haute précision, la précision de contrôle peut atteindre 1ma pour assurer la stabilité du courant de pulvérisation. Cette sortie de courant stable contribue à la formation d'un revêtement métallique dense, améliorant ainsi les propriétés de conductivité de l'échantillon.

Régulation précise de l'environnement de vide: l'environnement de vide de travail (vide limite < 1pa) est rapidement réalisé par une pompe à vide rotative haute performance et équipé d'un vacuomètre pirani à pleine échelle pour surveiller le degré de vide en temps réel. Ce contrôle précis du vide permet de réduire l'impact des impuretés sur le placage et d'améliorer les propriétés de conductivité.

3. Contrôle de particules de pulvérisation à l'échelle nanométrique: les particules de pulvérisation peuvent atteindre l'échelle nanométrique (< 5NM), le film préparé est dense et uniforme. Ce revêtement à l'échelle nanométrique a non seulement d'excellentes propriétés de conductivité, mais répond également aux besoins d'observations SEM à haute résolution.

Iii. Sélection Multi - cible de pulvérisateur d'ions entièrement automatique pour répondre aux besoins diversifiés

1. Support de cible de métal précieux: Le pulvérisateur ionique prend en charge le choix de nombreuses cibles de métal précieux telles que l'or, le platine, l'argent, le palladium, etc. Ces cibles ont une bonne conductivité électrique et une bonne stabilité chimique, ce qui permet de répondre aux besoins des différents échantillons en matière de revêtement.

2. Facilité de remplacement de la cible: la tête de cible est composée d'un anneau de blindage, d'un anneau de pression, d'une cible, il suffit de dévisser l'anneau de blindage et la vis de l'anneau de pression lors du remplacement de la cible pour retirer facilement l'ancienne cible et en installer une nouvelle. Ce changement de cible pratique améliore la flexibilité et l'efficacité d'utilisation de l'équipement.

Iv. Vérification de l'effet d'application pratique du pulvérisateur d'ions entièrement automatique

Optimisation de l'observation par miroir électrique à balayage: dans l'observation par miroir électrique à balayage (SEM), le pulvérisateur ionique est capable de fournir un revêtement uniforme et bien conducteur pour les échantillons non conducteurs. Cela évite efficacement la création d'effets de charge, ce qui rend l'image du miroir plus nette et plus riche en détails.

2. Support d'imagerie à grossissement élevé: pour les échantillons nécessitant une imagerie à grossissement élevé, le pulvérisateur ionique est capable de fournir une couche métallique conductrice fine et uniforme. Cela permet d'obtenir des observations et des images à des grossissements plus importants, améliorant ainsi la précision et la fiabilité des expériences.