Défaillance du système d'alimentation

Phénomène: pas de réaction de l'appareil, fluctuations anormales de la tension de courant

Étapes de diagnostic:

Vérifiez si les cordons d'alimentation, les prises, les connexions de prise sont solides, utilisez un multimètre pour tester la stabilité de la sortie de tension.

Détectez le circuit interne du module d'alimentation, vérifiez si le fusible a fondu ou si l'inductance Capacitive a vieilli.

La solution:

Reconnectez les pièces détachées et remplacez le cordon d'alimentation ou la prise endommagés.

Réparez ou Remplacez le module d'alimentation pour vous assurer que la sortie de tension est conforme aux spécifications de l'appareil.

Défaillance du système de vide

Phénomène: vide insuffisant, temps d'extraction prolongé

Étapes de diagnostic:

Utilisez un détecteur de fuite à hélium pour localiser le tuyau de vide, la bague d'étanchéité ou le point de fuite du corps de pompe.

Vérifiez le niveau d'huile et la qualité de l'huile de la pompe à vide pour voir s'il y a un bruit inhabituel ou une surchauffe du corps de la pompe.

La solution:

Remplacement de la bague d'étanchéité vieillissante, fixation de l'interface de bride libre.

Nettoyez ou remplacez l'huile de pompe à vide et réparez les défauts mécaniques du corps de pompe.

Anomalies du processus de pulvérisation

Phénomène: cible ne brille pas, épaisseur de film inégale

Étapes de diagnostic:

Vérifiez que l'installation de la cible est verticale et qu'il n'y a pas de couche d'oxyde ou de contaminants sur la surface.

Mesurer la résistance d'isolation entre la cible et le fil de terre, en excluant le risque de court - circuit.

Surveiller la courbe tension / courant de pulvérisation pour déterminer s'il y a une décharge d'arc ou une transition de mode.

La solution:

Réinstallez la cible et Ajustez l'espacement, nettoyez la surface avec de l'alcool isopropylique.

Réparez les connexions au fil de terre, ajoutez des joints isolants.

Optimisez les paramètres d'adaptation de puissance et inhibez la décharge d'arc.

Défaillance du système de contrôle du gaz

Phénomène: flux de gaz instable, déséquilibre de la proportion de gaz réactifs

Étapes de diagnostic:

Vérifiez l'état d'étalonnage du débitmètre massique pour voir s'il y a des fuites dans la vanne.

Analyser la composition du gaz résiduel pour confirmer s'il y a eu infiltration de gaz extérieur.

La solution:

Recalibrez le MFC et remplacez la vanne de fuite.

Optimisation de la disposition des voies de gaz, ajout d'unités de purification de gaz.

II. Stratégie de maintenance systématique

Maintenance quotidienne

Entretien de nettoyage:

Évitez l'accumulation de poussière en essuyant quotidiennement le boîtier de l'appareil avec un chiffon sans poussière.

Nettoyez l'intérieur de la Chambre de pulvérisation chaque semaine et utilisez un solvant spécial pour éliminer les résidus de cible.

Surveillance des paramètres:

Enregistrez les paramètres clés tels que le degré de vide, la tension / le courant de pulvérisation et établissez un graphique d'analyse de tendance.

Vérifiez régulièrement le niveau et la température du liquide de refroidissement pour vous assurer que le système de dissipation thermique fonctionne correctement.

Révision périodique

Système électrique:

Vérifiez si le cordon d'alimentation, le connecteur de la carte de commande est oxydé, fixez les vis desserrées.

Testez la stabilité de sortie d'alimentation haute tension, remplacez la capacité vieillissante.

Composants mécaniques:

Lubrifiez les Composants rotatifs de la pompe à vide et Remplacez les courroies ou les roulements usés.

Vérifiez la flexibilité du mécanisme de rotation de la cible pour éliminer les corps étrangers bloqués.

Système de vide:

Remplacez la bague d'étanchéité de la chambre à vide.

Lavez les parois internes des tuyaux sous vide pour enlever les dépôts.

Maintenance préventive

Gestion des consommables:

Établir des cibles, des anneaux d'étanchéité et d'autres mécanismes d'alerte précoce des stocks de consommables pour éviter les temps d'arrêt dus aux pièces manquantes.

La préférence est donnée aux cibles ayant une forte résistance à l'intoxication.

Contrôle environnemental:

Maintenir la stabilité de la température et de l'humidité du laboratoire et réduire le risque de condensation de l'équipement.

Installez un plancher Antistatique pour éviter que les composants électriques ne soient percutés par l'électricité statique.

Iii. Principales considérations

Opérations de sécurité:

L'alimentation doit être déconnectée et la capacité haute tension libérée avant la maintenance.

Portez des gants anti - coupure pour manipuler la cible et éviter les rayures de débris métalliques.

Sauvegarde des données:

Sauvegardez régulièrement les paramètres du logiciel de contrôle de l'appareil pour éviter les pannes du système entraînant une perte de processus.

Soutien professionnel:

Les défauts complexes doivent être réparés en contactant l'Ingénieur d'usine d'origine pour éviter que le démontage non autorisé n'annule la garantie.