Le sécheur de plaquettes de 12 pouces est largement utilisé dans le développement de la ligne de production de plaquettes, sa fonction principale est d'éliminer l'humidité résiduelle et les impuretés de la surface de la plaquette après le nettoyage humide par des moyens physiques ou thermodynamiques, d'assurer la pureté et la planéité de la surface de la plaquette, améliorant ainsi la fiabilité et la fiabilité des dispositifs semi - conducteurs. Ce qui suit développe l'analyse à partir de trois dimensions:

I. principe technique: Multi - mécanisme de synergie pour un séchage efficace

Le séchoir à plaquettes de 12 pouces intègre généralement de nombreuses technologies telles que le séchage centrifuge, la convection par air chaud, la purge d'azote et le rayonnement infrarouge pour former un système de séchage Composite:

1. Séchage centrifuge: la force centrifuge est générée par une rotation à grande vitesse pour écarter l'humidité de la surface de la plaquette, en conjonction avec le cycle du vent chaud pour évaporer davantage l'humidité résiduelle. Le temps de traitement monolithique de cette technologie peut être réduit à 1 minute et convient à la production de masse.

2. Purge d'azote: utilisez de l'azote de haute pureté pour purger la surface de la plaquette, empêcher l'oxydation et accélérer l'évaporation de l'humidité. Certains appareils utilisent l'azote chauffé sans contact pour éviter le contact direct de l'appareil de chauffage avec l'azote et réduire la pollution par les particules.

Rayonnement infrarouge: chauffage direct de la surface de la plaquette par infrarouge de longueur d'onde de 1 à 10 μm, pour obtenir un contrôle local précis de la température et une vitesse de séchage extrêmement rapide, en particulier pour les plaquettes ultra - minces et l'électronique flexible.

II. Le séchoir à plaquettes de 12 pouces traverse plusieurs processus de base pour la fabrication de semi - conducteurs:

Processus 1.frontway (feol): sécher immédiatement après le nettoyage de la plaquette pour éviter les taches d'eau ou les résidus de film causant des défauts. Par exemple, après polissage mécano - chimique (CMP), le séchoir élimine rapidement le liquide de broyage résiduel sur la surface de la plaquette, empêchant ainsi la contamination par les ions métalliques.

Processus 2.midway (meol): après les étapes de lithographie, de gravure, etc., le séchoir est utilisé pour éliminer les résidus de colle photolithographique ou les sous - produits de gravure de la surface de la plaquette, assurant la précision du processus ultérieur.

3. Processus de canal arrière (beol): avant le test d'encapsulation, le séchoir effectue le nettoyage final de la plaquette, empêche l'introduction d'impuretés dans le processus d'encapsulation et améliore la fiabilité du dispositif.

En outre, l'équipement est largement utilisé dans la fabrication optoélectronique (par exemple, le nettoyage d'éléments de revêtement optique), la biomédecine (par exemple, le nettoyage de bioréacteurs) et l'électronique automobile pour répondre aux exigences de pureté et de fiabilité élevées.

Avantage de performance: la mise à niveau technologique entraîne une amélioration des performances de la ligne de production

Le séchoir à plaquettes de 12 pouces optimise considérablement l'efficacité et les coûts de la ligne grâce à des innovations technologiques:

1. Haute compatibilité: prend en charge 4 - 12 pouces de traitement de disque de plusieurs tailles, s'adapte à différents besoins de nœud de processus.

2. Contrôle de haute précision: équipé du système de détection visuelle ai, surveille l'état de séchage de la plaquette en temps réel et ajuste automatiquement les paramètres (tels que la vitesse de rotation, la température) pour assurer l'uniformité du séchage. Une partie de l'équipement simule le processus de séchage grâce à la technologie de jumeau numérique, optimisant le parcours du processus et réduisant les coûts d'essais et d'erreurs.

3. Faible coût de maintenance: la structure mécanique simplifie la conception (par exemple, pompe lubrifiée sans huile, cavité Anticorrosion en PVC), réduit le taux d'échec de l'équipement et la fréquence de maintenance.