Dans le processus de fabrication de semi - conducteurs, la gravure est un lien de processus clé, sa précision détermine directement les performances de la puce. Les méthodes de mesure traditionnelles ont tendance à être négligentes face à des profils de gravure complexes, et l'avènement du profilomètre optique 3D sensofar s neox apporte une solution révolutionnaire à ce dilemme.

Le processus de gravure élimine sélectivement le matériau de la plaquette pour façonner les caractéristiques du circuit par gravure humide ou par gravure sèche. Dans ce processus, l'uniformité de la profondeur de gravure et la précision angulaire des parois latérales deviennent des paramètres clés qui affectent les performances du dispositif. En particulier, avec la réduction continue de la taille des dispositifs, les exigences en matière de précision de mesure sont également de plus en plus élevées.

Le profilomètre optique 3D sensofar s neox utilise la technologie de Mesure interférométrique 50x pour capturer avec précision les informations de profil 3D des profils gravés. Cette méthode de mesure sans contact et à haute résolution offre aux fabricants un moyen efficace de surveiller le processus.

Grâce au logiciel sensopro de First Jin, le système peut réaliser une analyse hautement automatisée à l'échelle nanométrique, améliorant considérablement l'efficacité et la précision des mesures. Cette percée technologique permet aux caractéristiques de gravure de se conformer strictement aux exigences de tolérance dimensionnelle, fournissant un support de données fiable pour l'optimisation du processus.

Le profilomètre optique S - neox intègre quatre techniques de confocalisation, d'interférence, de superposition multifocale ai et de mesure de l'épaisseur du film pour former une solution de mesure complète. Cette philosophie de conception Multi - technologie intégrée lui permet de faire face à une grande variété de scénarios de mesure complexes.

Technologie de co - focusOffre le plus GaoLa résolution latérale, atteignant une résolution horizontale de 0,14 μm, répond aux exigences strictes des mesures dimensionnelles critiques.Techniques d'interférenceIl est alors possible de réaliser des mesures d'altitude de résolution Sub - angström, particulièrement adaptées à la caractérisation de surfaces lisses et continues.

Sensofar est profondément optimisé en termes d'expérience utilisateur. Le logiciel sensoscan offre une interface de fonctionnement claire et intuitive qui permet aux utilisateurs de réaliser des mesures automatiques en un seul clic. Le système est capable d'identifier intelligemment les conditions d'éclairage zui - Jia et la plage de mesure, obtenant des résultats de haute qualité en quelques secondes.

La prise en charge du module de mesure automatique permet à l'utilisateur d'implémenter facilement une programmation personnalisée pour atteindre les objectifs de gestion de la qualité et de détection. Grâce à la fonction d'identification automatique des points de contraste par imagerie, la mesure entièrement automatisée sans intervention augmente considérablement l'efficacité de la détection.

Cette technologie présente de puissants avantages dans plusieurs domaines:

Fabrication microélectroniqueEn permettant une mesure rapide et non destructive de la déflexion initiale du nanocapteur de pression;

Usinage de précisionDomaine, peut mesurer avec précision les paramètres d'arête de coupe d'outils complexes;

Matériel médicalIndustrie, fournissant un soutien pour l'analyse de la topographie de surface des implants dentaires.

Sensofar adhère toujours à la norme de qualité Gao la plus élevée et tous les équipements Wan sont entièrement conformes à la norme iso25178. Le système est corrigé à l'aide de blocs standard traçables, garantissant la précision et la fiabilité des données mesurées. Ce système de contrôle de qualité rigoureux offre une garantie de mesure fiable pour la recherche scientifique et la production industrielle.

À mesure que la technologie des semi - conducteurs continue d'évoluer, les exigences en matière de précision de mesure continueront d'augmenter. Le profilomètre optique 3D sensofar s neox aide le secteur de la fabrication à progresser vers plus de précision et d'intelligence grâce à des innovations technologiques qui établissent une nouvelle norme de l'industrie pour les mesures de profil gravées.

Cet instrument représente non seulement le niveau le plus Gao de la technologie de mesure optique actuelle, mais constitue également une base solide pour le développement futur de la micro et Nanofabrication. Ses performances exceptionnelles et ses performances fiables en font un choix idéal pour les instituts de recherche scientifique et le contrôle de la qualité des entreprises.