Sensofar s neox permet une couverture de mesure complète, des surfaces lisses à l'échelle subnanométrique aux structures rugueuses à l'échelle millimétrique, grâce à une commutation transparente des technologies de superposition confocale, interférentielle et multifocale.
La technologie confocale filtre la lumière non focale à travers des trous d'épingle, acquiert des images 2D à contraste élevé et construit une topographie 3D après un balayage longitudinal. Avec une résolution latérale allant jusqu'à 0,10 μm et une lentille à ouverture numérique 150 X 0,95, ce mode permet de mesurer des pentes allant jusqu'à 70 ° pour les surfaces lisses et 86 ° pour les surfaces rugueuses, avec une répétabilité de mesure de l'axe Z stable au niveau nanométrique. Convient pour l'identification de petites lignes, des lacunes et d'autres structures fines, telles que la détection de topographie de ligne pour les puces semi - conductrices.
Les modes d'interférence de la lumière blanche et de déphasage sont optimisés pour différentes surfaces lisses: résolution longitudinale d'interférence de la lumière blanche de 0,1 nm, adaptée aux surfaces légèrement rugueuses; Le déphasage interfère avec la précision à l'échelle nanométrique de Daya, conçu pour les surfaces ultra - lisses et aucun des deux n'est affecté par le grossissement. La technologie de superposition multifocale met l'accent sur les surfaces rugueuses, avec une profondeur de balayage unique de 8 mm, ce qui peut répondre aux besoins de mesure des moules, des pièces de fabrication Additive et d'autres structures complexes.
La commutation de ces modes se fait automatiquement via le moteur optique intelligent, qui permet à l'utilisateur de sélectionner la technologie d'adaptation en fonction des caractéristiques de la tâche de mesure en un seul clic. Passage automatique à l'interférence de déphasage, par example lors de la mesure d'une surface Super lisse d'une lentille optique; Lors de la détection de la structure rugueuse du moule, le mode de superposition multifocale est activé.
Tableau d'adaptation du mode technique
Lors de l'utilisation, l'utilisateur n'a pas besoin de juger manuellement de l'adaptation du mode, le logiciel le recommande automatiquement en fonction des caractéristiques de surface de l'image d'aperçu, qui peut également être sélectionnée manuellement dans les paramètres avancés. La conception améliore considérablement la capacité d'adaptation de l'appareil à différents échantillons, couvrant les besoins de mesure Multi - industries telles que l'électronique, l'automobile, le médical, etc.