Nikkei, le projet « technologie et instrumentation d'interférométrie laser à haute résolution Multi - axes à haute vitesse» achevé par l'Université Tsinghua a remporté le premier prix 2018 de la société chinoise de métrologie et d'essais pour l'avancement des sciences et de la technologie.
La métrologie est la base de la science et de la technologie, est l'outil de l'humanité pour comprendre le monde, les trois révolutions technologiques du calendrier humain * sont liées à la percée de la technologie d'essai métrologique, et les résultats de la science et de la technologie d'essai métrologique ont un rôle important dans la promotion et le développement d'autres sciences et technologies. L'interférométrie laser est un moyen efficace de réaliser des mesures de contrôle et de micro et Nano - échelle ultra - précises, une voie importante pour garantir la nanométrie traçable et une technologie de test métrologique clé vers une puissance métrologique, une puissance manufacturière *.
L'équipe de projet pour le positionnement ultra - précis de la table de lithographie, la mesure métrologique de base et les applications d'instrumentation contre laserInterféromètreHaute dynamique, haute résolution, inter - échelle et traçabilité et d'autres besoins de mesure, effectuer en profondeur des recherches sur les problèmes scientifiques et techniques communs dans l'instrumentation des principes de mesure, des méthodes et des systèmes de mesure, percer les technologies clés telles que l'interférence multiaxiale intégrée, la démodulation du signal et la compensation de l'indice de réfraction pour former un ensemble complet de systèmes interférométriques laser autonomes à haute performance; Proposer une série de méthodes d'interférométrie laser traçables à une référence de longueur ou de fréquence, permettant des mesures de haute précision avec une incertitude de l'ordre de la peau, du nanomètre; Formé une série de résultats de produits de connaissance, les résultats de la recherche soutiennent le positionnement de haute précision de la machine de lithographie de R & D indépendante de notre pays, laserVibromètresDémodulation du signal et d'autres applications, et a été sélectionné pour l'exposition nationale des réalisations de la science et de l'innovation "douzième cinq".
Le projet a réalisé un système d'interférométrie laser haute vitesse, multi - axes à grande échelle et à haute résolution développé par l'auto - recherche sur toute la chaîne, des composants d'interféromètre, de la démodulation de détection de signal à la conception de programmes de détection Multi - degrés de liberté, proposant une méthode de mesure de longueur de précision interférométrique laser sérialisée avec traçabilité de fréquence optique. À ce jour, le projet est autorisé à inventer plus de 20 articles et à publier plus de 30 articles Sci.
En outre, la machine de lithographie développée par l'équipe de projet utilise la double fréquenceInterféromètre laserLe système, appliqué avec succès dans le processus de recherche et de développement de notre machine de prototypage de table de lithographie autodidacte, l'application cumulative de plus de 50 ensembles de table, répond bien aux besoins de mesure de précision de la machine de prototypage de table de lithographie double, soutient la formation de la capacité d'interféromètre laser à double fréquence de la machine de lithographie, réduit la dépendance à l'égard de l'interféromètre étranger, fournit à la recherche et au développement d'équipements et d'instruments de notre pays une excellente performance et une capacité de mesure et de traçabilité non imposée.
Le « prix de progrès scientifique et technologique de la société chinoise d'essais métrologiques» est un prix provincial et ministériel de progrès scientifique et technologique enregistré auprès du Bureau national des récompenses scientifiques et technologiques. Les projets dans lesquels le premier prix est déclaré exigent que la technologie globale ait été officiellement appliquée pendant plus de trois ans et qu'elle ait produit des avantages économiques ou sociaux importants. Actuellement, les produits ont été utilisés avec succès dans de nombreux domaines tels que l'aérospatiale, la fabrication automobile, l'inspection des machines - outils et d'autres, devenant un outil de soutien puissant pour améliorer la qualité des produits fabriqués en Chine.