Dans les domaines industriels de précision tels que la fabrication de semi - conducteurs, le revêtement optique, les nouveaux matériaux énergétiques, etc., le contrôle précis de l'épaisseur du film détermine directement les performances du produit.Daimei Instrumentation Technology Services (Shanghai) Co., Ltd., avec plus de vingt ans d'intégration technologique, a construit un système de mesure d'épaisseur de film mince couvrant les trois principaux chemins technologiques du contact mécanique, de l'interférence optique et de la réflexion spectrale, fournissant à l'industrie une solution de scénario complet allant de la recherche et du développement en laboratoire à la mesure de la ligne de production.

　　1. Mesure de contact mécanique: la « perception tactile » de la précision nanométrique

Pour le revêtement métallique, le revêtement dur et d'autres scénarios, daimei utilise un stepmètre de type sonde de haute précision. Son composant principal est une sonde à pointe de diamant qui enregistre le relief de la sonde à l'échelle micrométrique à la surface de la couche de membrane par un capteur de déplacement vertical. Par exemple, dans la mesure de la couche d'or d'un cadre de fil semi - conducteur, l'appareil à une vitesse de balayage de 0,1 mm / s, un intervalle d'échantillonnage de 0,1 μm, associé à un contrôle de force de contact de 0,1 à 10 mn, peut capturer avec précision les variations d'échelle de 50 nm à 10 μm d'épaisseur. Cette technologie élimine les erreurs d'usure de la sonde grâce à un étalonnage multipoint, ce qui permet d'obtenir une précision de répétabilité de ± 0,05 μm dans la détection du placage des connecteurs électroniques automobiles.

　　2. Mesure interférométrique optique: la « révolution transparente » du décodage des ondes lumineuses

Pour les lentilles optiques, les filtres et autres couches de membrane transparente, daimei déploie une double voie technologique d'interféromètre à lumière blanche et d'ellipsométre. L'interféromètre à lumière blanche utilise une source lumineuse à large bande de 200 à 1000 nm pour calculer l'épaisseur du film en analysant les interférogrammes de lumière réfléchie. Dans la production de lentilles de téléphone portable revêtues ar, l'appareil scanne à un angle d'incidence de 75 ° et, en combinaison avec l'ajustement du modèle Cauchy, peut effectuer des mesures matricielles 5 × 5 en 3 secondes avec une valeur CV d'uniformité ≤ 1,5%. L'ellipsomètre utilise l'analyse de la différence de phase de la lumière polarisée P / s pour obtenir avec précision l'indice de réfraction et l'épaisseur d'un film ultramince de 1 à 500 nm, pour réaliser un contrôle de niveau ± 0,1 nm dans la préparation de la couche lumineuse OLED.

　　3. Mesure de réflexion spectrale: pénétrer opaque "clé spectrale"

Pour les matériaux opaques tels que les plaquettes de silicium semi - conducteur, la colle lithographique épaisse et d'autres, daimei lance la série de réflecteurs spectraux filmetricsf3 - SX. L'appareil utilise une lumière proche infrarouge de 980 - 1550 nm pour déchiffrer la structure interne de la photolithographie Su - 8 de 3 mm d'épaisseur en mesurant la modulation de phase du spectre de réflexion. Dans une détection d'épaisseur de plaquette de 8 pouces, un spot de 10 µm de diamètre peut pénétrer dans la couche de film non transparent et, en combinaison avec le modèle tauc - Lorentz, une cartographie complète de la distribution de l'épaisseur de la feuille complète est réalisée en 0,5 seconde avec un écart de répétabilité < 0,3 µm. Son système de diagnostic intégré surveille également les contraintes de la couche de membrane en temps réel, fournissant un support de données pour l'optimisation du processus.

De la « perception tactile» des sondes de contact à la « résolution par pénétration» de la réflexion spectrale, l'instrument daimei brise les limites de la mesure avec une matrice technologique multivariée. Son équipement n'est pas seulement certifié iso17025, il est plus profondément intégré dans la boucle fermée de la production de masse des semi - conducteurs, de l'optoélectronique, des nouvelles énergies et d'autres industries, écrit un nouveau chapitre de la fabrication de précision en Chine avec un « langage d'épaisseur» précis.