I. préparation avant l'opération

Pré - traitement de l'échantillon: Assurez - vous que l'échantillon est sec et exempt de substances volatiles (évitez de contaminer le cylindre de la lentille), l'échantillon conducteur peut être utilisé directement, l'échantillon non conducteur doit être traité par pulvérisation d'or / pulvérisation de carbone (pour éviter l'accumulation de charge); La taille de l'échantillon doit être adaptée à la table d'échantillon pour éviter de dépasser la plage de charge.

Inspection des instruments: observationMicroscope électronique à balayage par émission de champL'alimentation électrique, le système de vide est - il normal, il n'y a pas d'échantillons résiduels ou d'impuretés à l'intérieur du cylindre de miroir, le niveau du système de refroidissement (par exemple, l'azote liquide) répond aux exigences.

Code de sécurité: porter des gants de protection (éviter la contamination de l'échantillon / instrument par les empreintes digitales), il est strictement interdit d'allumer le pistolet électronique lorsque le vide n'est pas conforme et de rester à l'écart de la bouche d'observation du barillet (protection contre les radiations).

II. Principales étapes opérationnelles

1. Chargement des échantillons

Ouvrez la porte de la salle d'échantillonnage et fixez l'échantillon prétraité sur la table d'échantillonnage (assurez - vous que l'installation est solide et évitez les mouvements);

Fermez la porte de la salle d'échantillonnage, démarrez le système de vide et attendez que le degré de vide atteigne les exigences de l'instrument (le voyant « prêt pour le vide» s'allume généralement).

2. Lancez le pistolet électronique avec les paramètres

Après la norme de vide, Allumez le pistolet électronique, choisissez la tension d'accélération (selon le type d'échantillon, généralement 1 - 30kv, l'échantillon conducteur peut être haute tension, l'échantillon non conducteur peut être basse tension);

Réglez le courant d'émission (suivez la plage recommandée de l'instrument et évitez de trop endommager l'échantillon ou l'instrument).

3. Observation et localisation des échantillons

Réglage de l'axe XYZ de la table d'échantillonnage pour trouver la zone cible par microscopie optique ou image électronique à faible facteur;

Passer à un grossissement approprié (ajustement progressif de faible à élevé, faible pour le positionnement et élevé pour l'observation des détails).

4. Réglage et acquisition d'images

Régler la luminosité, le contraste pour rendre l'image claire (éviter la surbrillance ou l'obscurité);

Choisissez la résolution de l'image (adaptée aux besoins, haute résolution pour l'analyse détaillée et basse résolution pour un aperçu rapide);

Cliquez sur le bouton "acquisition" pour enregistrer l'image (format JPG, TIFF, etc. sélectionnable).

5. Processus d'arrêt

Éteignez d'abord le canon à électrons et réduisez la tension d'accélération à 0;

Attendre la décompression du système de vide (il ne peut pas forcer l'ouverture de la porte), retirer l'échantillon lorsque la décompression est terminée;

Éteignez l'alimentation de l'instrument, le système de refroidissement, nettoyez le banc d'échantillons et la zone d'opération.

Iii. Principales considérations

Lorsque le vide n'est pas conforme, il est strictement interdit d'ouvrir le pistolet électronique ou d'ouvrir la porte de la Chambre d'échantillon, sinon le barillet de miroir et le pistolet électronique seront endommagés;

L'échantillon doit être sec, non corrosif et éviter de contaminer le système de vide ou l'intérieur du cylindre de miroir;

Lors du réglage du grossissement et de la table d'échantillon, l'action doit être lente pour empêcher l'échantillon de heurter le cylindre de la lentille;

SiMicroscope électronique à balayage par émission de champDes anomalies telles que le flou de l'image, la décharge, etc., éteignez immédiatement le pistolet électronique, contactez le technicien pour vérifier, ne pouvez pas démonter l'instrument vous - même.