Le mesureur d'épaisseur de film est un instrument qui utilise des principes tels que l'optique, l'électricité ou les rayons pour mesurer avec précision l'épaisseur du film ou du revêtement, largement utilisé dans les semi - conducteurs, l'optique, la science des matériaux, la biomédecine et la protection de l'environnement.
Le principe de base des jauges d'épaisseur de film est basé sur l'interférence et la réflexion de la lumière. Lorsqu'une onde lumineuse frappe la couche de membrane testée, une partie de l'onde lumineuse est réfléchie à la surface de la couche de membrane, une partie pénètre dans la couche de membrane et est réfléchie à l'interface de la couche de membrane avec le substrat. Ces deux parties de l'onde lumineuse réfléchie créent un phénomène d'interférence en raison de la différence de trajet optique, formant un diagramme d'interférence. L'analyse des interférogrammes permet d'obtenir des informations sur la différence de phase des ondes lumineuses et, à son tour, de calculer avec précision l'épaisseur de la couche de film par des relations mathématiques. Cette méthode a l'avantage d'être sans contact, de haute précision, sans dommage, etc., la précision de mesure peut atteindre le niveau nanométrique.
Mesure d'épaisseur de film action:
Fabrication de semi - conducteurs: les propriétés des dispositifs semi - conducteurs sont étroitement liées à l'épaisseur des couches minces à l'intérieur. Les jauges d'épaisseur de film permettent des mesures de haute précision et une surveillance en temps réel des films minces tels que la couche d'oxyde de grille, les interconnexions métalliques, etc., offrant aux fabricants de semi - conducteurs une garantie de qualité fiable.
Film optique: l'épaisseur du film optique a une influence importante sur ses propriétés optiques. Le mesureur d'épaisseur de film peut mesurer avec précision l'épaisseur des films minces tels que les films perméables, les films réfléchissants, les filtres, etc., en veillant à ce qu'ils remplissent des fonctions optiques spécifiques.
Science des matériaux: les jauges d'épaisseur de film aident les chercheurs à comprendre les mécanismes de croissance, la structure et les propriétés des films minces, fournissant une base théorique pour la conception et la préparation des matériaux.
Biomédical: le mesureur d'épaisseur de membrane peut être utilisé pour mesurer l'épaisseur des films critiques tels que les films biologiques, les revêtements pharmaceutiques et d'autres, fournissant des informations importantes pour le diagnostic et le traitement des maladies.
Protection de l'environnement: les jauges d'épaisseur de membrane peuvent être utilisées pour surveiller le dépôt de polluants atmosphériques sur des surfaces solides et fournir une base scientifique pour l'évaluation et la gouvernance de la pollution environnementale.
Utilisation et maintenance
Exigences d'étalonnage: il est nécessaire d'étalonner avec une feuille épaisse de film standard avant l'utilisation initiale; Calibration régulière (mensuelle / trimestrielle) pour assurer la précision;
Préparation de l'échantillon: nettoyer la surface de l'échantillon avant la mesure (enlever les huiles, la poussière); La mesure par contact doit éviter les rayures sur la surface de l'échantillon;
Exigences environnementales: les mesures de haute précision doivent être effectuées à température constante (20 ± 2 ℃), sans vibration; L'épaisseur de film laser doit éviter les interférences lumineuses fortes;
Entretien quotidien: garder la sonde / tête laser propre; éviter les collisions avec les instruments (en particulier les sondes de contact); Remplacez régulièrement les pièces usées (sondes, capteurs, etc.).