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Qingdao Xinruide Environmental Protection Technology Co., Ltd
Comment les équipements d'eau Ultrapure à semi - conducteurs peuvent - ils atteindre une qualité d'eau ultra - Pure?
Date :2025-08-08Lire :0
Dans le domaine de la fabrication de semi - conducteurs, l'eau Ultrapure est une matière première clé, dont la pureté affecte directement les performances et le bon rendement des puces. L'équipement d'eau Ultrapure de semi - conducteur assure la qualité de l'eau aux normes ultra - élevées de pureté par une gamme complexe de processus et de moyens techniques. Voici ses principales méthodes de mise en œuvre:
I. phase de prétraitement
Le prétraitement est la première étape de la préparation de l'eau Ultrapure, dont l'objectif principal est d'éliminer les solides en suspension, les particules, les micro - organismes, les matières organiques et une partie des ions de l'eau. Le procédé de prétraitement comprend généralement les étapes suivantes:
1, réservoir d'eau brute et pompe à eau brute: stockez l'eau brute et fournissez une pression d'alimentation stable.
2, filtre à sable de quartz: enlever les grandes particules en suspension dans l'eau par filtration physique.
3, filtre à charbon actif: adsorber la matière organique, le chlore et d'autres impuretés dans l'eau, réduire la demande chimique en oxygène (DCO) de l'eau.
4, adoucisseur d'eau: utilisez la résine échangeuse d'ions pour éliminer les ions de dureté tels que le calcium, le magnésium et d'autres dans l'eau et empêcher l'encrassement ultérieur de l'équipement.
5, filtre de sécurité: Enlevez davantage les particules minuscules de l'eau pour assurer la qualité de l'eau entrant dans le système suivant.
II. Phase principale de traitement
Au cours de la phase principale de traitement, l'équipement d'eau Ultrapure utilise une variété de technologies de traitement de l'eau avancées pour purifier davantage la qualité de l'eau:
1, technologie d'osmose inverse (RO): par membrane semi - perméable à haute pression pour séparer les molécules d'eau des sels dissous, des matières organiques, des micro - organismes et d'autres impuretés, le taux d'élimination peut atteindre plus de 99%. Cette technique permet de réduire efficacement la conductivité de l’eau et les solides dissous totaux (TDS).
Technologie d'électrodéionisation (EDI): la technologie EDI combine la résine échangeuse d'ions et la technologie d'électrodialyse, en utilisant l'action d'un champ électrique pour permettre aux ions de l'eau de migrer directionnellement et d'être adsorbés sur la résine, éliminant ainsi davantage les ions de l'eau. Le système EDI est capable d'augmenter la résistivité de l'eau à plus de 15 mΩ.cm.
Résine échangeuse d'ions: après l'EDI, la résine échangeuse d'ions est généralement utilisée pour le traitement de dessalement en profondeur, améliorant encore la pureté de la qualité de l'eau. Les résines échangeuses d'ions sont capables d'adsorber des traces d'ions dans l'eau, ce qui permet d'atteindre une résistivité de 18 mΩ.cm et même plus pour la production d'eau.
Iii. Phase de finition
La phase de finition, destinée à assurer une qualité d'eau répondant aux normes de pureté ultra - élevées requises pour la production de semi - conducteurs, comprend généralement les étapes suivantes:
1, lit de mélange de polissage: le lit de mélange de polissage est la dernière étape de la préparation de l'eau ultra - pure, par la résine échangeuse d'ions de haute pureté pour éliminer davantage les impuretés traces de l'eau, assurant la résistivité de la production d'eau atteint 18,2 mΩ.cm.
2, désinfection UV: la technologie de désinfection UV est utilisée pour tuer les bactéries et les micro - organismes dans l'eau et assurer la sécurité biologique de la qualité de l'eau.
3, l'élimination de toc: enlever le carbone organique de l'eau par l'appareil de lampe de toc - UV ou le filtre à charbon actif pour s'assurer que la teneur totale en carbone organique (TOC) dans la qualité de l'eau est inférieure à 1 ppb.
4, traitement de dégazage: dans le processus de production d'eau Ultrapure semi - conductrice, l'élimination de l'oxygène dissous et du dioxyde de carbone est très importante. Une unité de dégazage sera généralement installée après EDI ou avant le lit de mélange poli, en utilisant un mode combiné de purge d'azote de haute pureté et de vide pour réduire l'oxygène dissous dans l'eau à moins de 10 ppb, voire moins.
Iv. Surveillance de la qualité de l'eau et contrôle automatique
Les équipements d'eau Ultrapure à semi - conducteurs sont généralement équipés de systèmes avancés de surveillance de la qualité de l'eau et de systèmes de contrôle automatisés. Ces systèmes sont capables de surveiller en temps réel les paramètres de la qualité de l'eau tels que la résistivité, le cot, le pH, etc. et d'ajuster automatiquement l'état de fonctionnement de l'équipement en fonction des résultats de la surveillance, garantissant ainsi la stabilité et la fiabilité de la qualité de l'eau. Le système de contrôle automatisé peut également permettre le démarrage et l'arrêt automatiques de l'équipement, l'alarme de défaut et la surveillance à distance, améliorant ainsi l'efficacité opérationnelle et le niveau de gestion de l'équipement.
Grâce à la synergie du processus à plusieurs étapes ci - dessus, l'équipement d'eau Ultrapure à semi - conducteur peut éliminer efficacement diverses impuretés de l'eau, assurer la qualité de l'eau à des normes de pureté ultra élevées et répondre aux exigences strictes de la qualité de l'eau de la production de semi - conducteurs. Cette qualité d'eau de haute pureté est essentielle pour les processus tels que le nettoyage, la gravure, la lithographie, etc. dans le processus de fabrication de semi - conducteurs, permettant d'améliorer efficacement les performances et le bon rendement des puces.