L'industrie des semi - conducteurs a des exigences strictes en matière de qualité de l'eau, l'eau ultra - pure en tant que consommable de base de production, sa qualité affecte directement le bon rendement des puces. L'eau Ultrapure semi - conductrice doit répondre à des indicateurs multidimensionnels: la résistivité doit être supérieure à 18,2 mΩ.cm (25 ° c), assurant une teneur en ions extrêmement faible; Le toc (total organic carbon) est contrôlé en dessous de 0,5 ppb, ce qui évite d'affecter la précision de la lithographie; Pas plus de 100 particules par litre de plus de 0,05 micron, empêchant les défauts de lithographie; L'oxygène dissous est inférieur à 1 ppb, inhibant la reproduction bactérienne avec la formation de couche d'oxyde.
Application d'eau ultra pure à travers le processus de production complet de semi - conducteur: la préparation de la plaquette est utilisée pour nettoyer et désencombrer, garantissant la cristallinité de la surface; Processus de lithographie pour nettoyer le modèle et la plaquette, assurer la précision du modèle; La gravure, le polissage mécanique jouent un rôle de nettoyage par refroidissement et maintiennent la cohérence du processus; La phase de dépôt chimique électronique nettoie le film métallique et garantit la précision du dépôt; Il peut également être utilisé pour le refroidissement de l'équipement et les expériences de laboratoire, assurant la fiabilité des données.
La source d'eau ultra pure provient de l'eau du robinet et nécessite un traitement en profondeur Multi - processus: l'extrémité avant passe par des processus tels que ACF, uf, RO, EDI, etc. pour réduire le cot de 1 à 3 PPM à 10 - 30 ppb de l'eau du robinet; Le dispositif de lampe toc - UV est encore réduit à ≤ 0,5 ppb, la conformité finale. Côté détection, les microparticules sont surveillées avec un compteur de particules liquides, TOC、 La résistivité, l'oxygène dissous, le pH et d'autres indicateurs sont détectés en temps réel par des moniteurs en ligne tels que des instruments électrochimiques, certains scénarios nécessitent un système intégré pour réaliser le contrôle dynamique de la qualité de l'eau.
Le cycle de surveillance doit combiner les conditions de fonctionnement et le réglage du changement de qualité de l'eau, l'analyse d'échantillonnage périodique, la détection rapide des problèmes de qualité de l'eau, éviter la perte de qualité ou de production de la puce en raison du dépassement du carbone organique total, de l'oxygène dissous trop élevé, des particules excessives, etc. Avec la réduction de la taille et l'amélioration de la précision des composants semi - conducteurs, la surveillance de l'eau Ultrapure nécessite une mise à niveau continue de la précision et de la technologie de détection (telles que la surveillance à distance) pour répondre aux besoins de qualité de l'eau de plus en plus exigeants de l'industrie.