Microscope d'inspection de disqueEst un instrument optique pour la détection de la surface et de la structure interne des plaquettes semi - conductrices, qui peut aider les techniciens à détecter rapidement les défauts sur les plaquettes et à assurer la qualité du produit.
Fonctions principales:
Détection des défauts: permet de détecter rapidement les défauts tels que les rayures, les contaminations, les trous, les fissures sur la surface de la plaquette, ainsi que les anomalies de la structure interne.
Mesure dimensionnelle: grâce au logiciel de mesure équipé, des mesures précises de la largeur des lignes, des dimensions graphiques, de l'espacement, etc. peuvent être effectuées sur la plaquette.
Analyse d'image: les images acquises peuvent être traitées et analysées, telles que le réglage du contraste, la détection des bords, la classification des défauts, etc., fournissant un support de données pour le contrôle de la qualité et l'amélioration des processus.
Microscope d'inspection de disqueL'observation précise de la surface et de la microstructure interne de la plaquette est obtenue grâce à la combinaison de systèmes optiques et de techniques d'imagerie, dont les principes fondamentaux sont les suivants:
Système d'imagerie optique
Mode d'éclairage: soutenir l'éclairage de type transmissif (pour les plaques transparentes / translucides) et réfléchissant (pour les plaques opaques), le type de source lumineuse couvre les lampes halogènes, les lampes LED, etc., où les lampes LED deviennent le courant principal en raison de leur longue durée de vie et de leur faible production de chaleur.
Objectif vs oculaire: l'objectif est un composant optique clé, offrant de nombreux grossissements tels que 5X, 10x, 20x, 40x, etc., l'oculaire agrandit davantage l'image.
Concentrateur: par le réglage numérique de l'ouverture, focalisez les rayons de la source lumineuse sur la surface de la plaquette, améliorez la luminosité de l'éclairage et Améliorez la clarté de l'observation.
Technique d'observation multimodale
Observation de champ clair / sombre: la détection de champ clair identifie les rayures, les particules et d'autres défauts plus importants par le changement d'intensité lumineuse réfléchie; La détection de champ sombre utilise la lumière diffusée pour analyser les défauts mineurs à l'échelle inférieure à 100 nanomètres.
Interférence différentielle (DIC): améliore le contraste de l'image par la différence de trajet optique et présente clairement la stéréostructure des défauts cristallins.
Observation de la fluorescence et de la polarisation: le module de fluorescence peut être optionnel pour détecter les caractéristiques de Photoluminescence, le module de polarisation analyse l'orientation cristalline et répond aux besoins de la précession *.