Le magnétron à vide élevé pulvérisateur vaporisateur est un équipement pour la préparation de films minces dans un environnement sous vide par la technologie de Pulvérisation magnétron et la méthode d'évaporation combinée, principalement pour la préparation de films minces dans les domaines des matériaux semi - conducteurs, des composants optiques et autres.
Caractéristiques de performance
Haute qualité du film: le film déposé par Pulvérisation magnétron est dense et fortement adhérent, ce qui permet un contrôle précis de l'épaisseur et de la composition du film; L'évaporation sous vide peut réaliser le dépôt de films minces de haute pureté, les deux peuvent être combinés pour produire des films minces avec de bonnes performances, tels que des films minces optiques, des films minces électroniques et d'autres aspects avec un bon effet d'application.
Large gamme de matériaux de revêtement: peut traiter de nombreux métaux, alliages, composés, semi - conducteurs et autres matériaux, à la fois par Pulvérisation magnétron pour déposer des métaux à haut point de fusion, alliages et composés, ou par évaporation sous vide pour déposer des métaux purs, des matières organiques et d'autres films.
Forte flexibilité du processus: de nombreux processus de revêtement peuvent être réalisés, tels que la pulvérisation à cible unique, la co - pulvérisation à cibles multiples, la pulvérisation réactive, le revêtement par évaporation et leurs processus de combinaison, en ajustant la puissance de la Pulvérisation magnétron, la pression du gaz, la distance de base de la cible, ainsi que les paramètres tels que la température de chauffage, la vitesse d'évaporation de l'évaporation sous vide.
Domaines d'application
Domaine de l'électronique: électrodes pour la préparation de puces semi - conductrices, couches d'interconnexion, couches de blocage, ainsi que films conducteurs transparents pour écrans plats, films diélectriques optiques, etc., tels que la préparation d'électrodes transparentes en oxyde d'indium et d'étain, couches d'interconnexion en cuivre, etc.
Domaine optique: peut préparer des films minces optiques tels que des films opacifiants, des films filtrants, des films réfléchissants et d'autres, améliorer les propriétés optiques des composants optiques, tels que les applications dans les dispositifs laser, les cellules solaires, les lentilles optiques, etc.
Domaine mécanique: dépôt d'un revêtement dur résistant à l'usure, d'un revêtement auto - lubrifiant, etc. sur des surfaces telles que les moules, les roulements, etc., pour améliorer leur dureté, leur résistance à l'usure et leur durée de vie.
Domaine décoratif: utilisé pour plaquer le film métallique, le film d'alliage, le film de couleur, etc. sur la surface des garnitures intérieures et extérieures de voitures, des boîtiers de produits électroniques, des bijoux, etc., pour améliorer l'esthétique et la décoration des produits.