I. Introduction

Dans le domaine de la technologie du vide moderne, le Groupe de pompe moléculaire est largement utilisé dans la fabrication de semi - conducteurs, la recherche sur les matériaux, l'analyse de surface, la préparation de dispositifs optoélectroniques, le revêtement sous vide et d'autres industries en raison de sa capacité à réaliser un vide élevé et même un environnement de vide ultra - élevé. Cet article combine les paramètres spécifiques d'un modèle de pompe moléculaire (tels que le mode de contrôle de démarrage à une touche, la pompe moléculaire turbovac 90i, le vide limite 10⁻⁸ PA, le débit de fuite du système 1 × 10⁻¹⁰ pa · m³ / s, etc.) pour une analyse approfondie des trois dimensions des caractéristiques techniques, des scénarios d'application typiques et des cas d'utilisation.

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II. Caractéristiques techniques du Groupe de pompe moléculaire

Ce groupe de pompe moléculaire a une capacité d'extraction sous vide haute performance, les principaux paramètres techniques sont les suivants:

• Méthode de contrôle: démarrage à une touche, opération facile, seuil d'utilisation inférieur

• Pompe moléculaire: turbovac 90i, vitesse de pompage 90 l / s pour les besoins de vide élevés

• Pompe de l'étage avant: pompe à huile à tourbillon bipolaire (pompe sèche à tourbillon flottante de 1,2 m³ / h en option)

• Vitesse d'extraction de l'étage avant: 2 m³ / h

• Vacuomètre Composite: ptr90 (plage de mesure allant de l'atmosphère à 5 × 10⁻⁷ pa)

• Degré de vide limite: 10⁻⁸ pa

• Spécifications de l'interface: kf40 (kf25, kf16 en option)

• Méthode de refroidissement: refroidi à l'air, adapté à divers environnements de laboratoire

• Taux de fuite du système: 1 × 10⁻¹⁰ pa·m³ / s, stabilité et étanchéité exceptionnelles

• Alimentation électrique: 220V 50hz

• Volume et poids: 400×340×260 mm, 18 kg, meilleure portabilité

Ces caractéristiques en font un choix idéal pour la recherche scientifique, l'industrie et l'équipement sous vide élevé.

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Iii. Principaux scénarios d'application pour les groupes de Pompes moléculaires

1. Fabrication de semi - conducteurs et de microélectronique

Les procédés semi - conducteurs tels que le dépôt (PVD, CVD), la Gravure ionique, le nettoyage de surface, etc., nécessitent tous un environnement sous vide élevé pour éviter la contamination par les particules et les interférences de réactions chimiques.
Avec un vide limite de 10⁻⁸ PA, le Groupe de pompe moléculaire offre des conditions de vide frontal fiables pour la lithographie, le dépôt de couches minces et le traitement de plaquettes.

Cas d'utilisation:
Une certaine usine de plaquettes utilise ce groupe de pompe moléculaire dans le processus d'élimination de la colle photolithographique, utilisé conjointement avec la cavité de nettoyage par contact, améliore l'efficacité du processus par une évacuation rapide et améliore la pureté de la surface de la plaquette.

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2. Science des matériaux et analyse de surface (XPS, AES, Sims)

La technologie d'analyse de surface a des exigences élevées en matière de vide, si trop de gaz résiduel dans la cavité, cela affectera le spectre d'énergie électronique, le signal ionique et la sensibilité de détection.

Caractéristiques de ce groupe de Pompes moléculaires:

• Vitesse de pompage élevée (90l / s)

• Taux de fuite très faible (1 × 10⁻¹⁰ pa·m³ / s)

• Vide extrême jusqu'à 10⁻⁸ pa

Idéal comme source de vide indépendante ou comme groupe de pompe complémentaire pour l'équipement de recherche de matériaux.

Cas d'utilisation:
L'Institut des matériaux d'un collège utilise ce groupe de pompe moléculaire comme système de vide de secours pour XPS (spectromètre photoélectronique à rayons X), pour effectuer un vide auxiliaire pendant la période de maintenance de l'instrument, afin d'assurer la stabilité et la répétabilité des résultats d'analyse.

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3. Développement de dispositifs optoélectroniques (OLED, laser, photodétecteur)

Le processus de préparation de film mince photoélectrique implique une variété de matériaux sensibles qui nécessitent un environnement pollué par de l'eau à faible teneur en oxygène.

Ce groupe de pompe moléculaire:

• Conception refroidie par air, durable et stable

• Petite taille pour une intégration facile avec la Chambre de placage à la vapeur

• Forte adaptation de l'interface kf40

Particulièrement adapté pour les équipements de vaporisation de qualité laboratoire et les lignes de développement de prototypes.

Cas d'utilisation:
Un certain Institut de recherche dans le développement d'un nouveau détecteur infrarouge, l'utilisation de ce groupe de pompe moléculaire pour accompagner la cavité de placage à la vapeur, assurer le vide de la cavité pendant le dépôt de film mince est maintenu à l'ordre de 10⁻⁷ PA, améliorer le rendement de masse du dispositif.

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4. Équipement de revêtement sous vide (revêtement dur, revêtement optique)

Pendant le processus de revêtement, s'il y a trop de gaz dans la cavité, cela peut entraîner une diminution de l'adhérence de la couche de film, une oxydation grave et d'autres problèmes.

Groupe de pompe moléculaire avec:

• Vitesse de pompage élevée

• Refroidissement à air stable

• Pompe de pré - étage à démarrage rapide
  Peut réduire considérablement le temps d'évacuation sous vide et améliorer l'efficacité du revêtement.

Cas d'utilisation:
Une certaine usine de revêtement optique utilise un groupe de pompe moléculaire pour le processus de pompage de fond du miroir de placage, le temps d'évacuation est réduit de 30% par rapport au système d'origine, l'efficacité globale de la ligne de production est améliorée de 15%.

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5. Système de vide élevé universel de laboratoire scientifique

Convient pour:

• Spectromètre de masse (MS)

• Four à vide

• Pulvérisation par faisceau ionique

• Dispositif expérimental plasma

• Cavité d'échantillon expérimental à basse température

Sa fonction de démarrage en un clic et ses propriétés de vide solides le rendent idéal pour de nombreuses études interdisciplinaires.

Cas d'utilisation:
Le laboratoire de physique utilise ce groupe de Pompes moléculaires pour construire des cavités de test indépendantes pour les mesures électriques des matériaux dans des environnements cryogéniques (LHe), dont la grande stabilité garantit la fiabilité sous vide des expériences de longue durée.

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Iv. Résumé des cas d'utilisation typiques

À travers ces cas, nous pouvons voir que ce groupe de pompe moléculaire est particulièrement adapté à l'intégration dans des applications telles que l'équipement de recherche scientifique, les modules de processus semi - conducteurs, les systèmes de plaquage photoélectrique en raison de sa petite taille, de sa vitesse d'extraction élevée, de son fonctionnement simple et de sa stabilité sous vide. Qu'il s'agisse d'une ligne de production industrielle ou d'un laboratoire de recherche, il offre une garantie fiable pour l'expérimentation et la production avec une capacité de vide stable.

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V. Conclusion

Les ensembles de Pompes moléculaires, en tant que composants de base des systèmes à vide élevé, ont un impact direct sur la stabilité de fonctionnement et la précision des tests de l'équipement. Avec la pompe moléculaire turbovac 90i, la pompe frontale hautement stable, la structure d'étanchéité à très faible débit et le contrôle de démarrage à une touche, ce modèle de pompe moléculaire combine facilité d'utilisation, portabilité et professionnalisme, et peut être largement utilisé dans les semi - conducteurs, la science des matériaux, les dispositifs optoélectroniques, Le revêtement sous vide et les expériences de recherche scientifique.

Il améliore non seulement l'efficacité opérationnelle des systèmes à vide élevé, mais fournit également un support de base solide pour la recherche scientifique et l'innovation industrielle.