L'une des défaillances les plus courantes du Groupe de Pompes moléculaires est le degré de vide non conforme, qui se manifeste par le fait que le vacuomètre affiche des valeurs toujours supérieures à la valeur cible et ne peut pas atteindre l'état de vide élevé requis par le processus. La cause principale de ce problème est trois points: l'un est le vieillissement du joint ou des dommages, tels que la bague d'étanchéité à bride en raison de la chaleur à long terme, la basse température alternant les fissures, ce qui entraîne une fuite d'air; Deuxièmement, l'entrée d'air ou la tuyauterie est obstruée, la poussière, l'accumulation de résidus de processus entrave la circulation du flux d'air; Le troisième est la performance de la pompe moléculaire elle - même est atténuée, les pales du rotor sont usées ou la vitesse du moteur est insuffisante. Lors du diagnostic, la surface d'étanchéité peut d'abord être détectée par un détecteur de fuite par spectrométrie de masse à hélium, si une fuite d'hélium est trouvée, le joint d'étanchéité peut être remplacé; Revérifier le conduit d'admission, purger avec de l'air comprimé ou démonter le bouchon de nettoyage; Si les deux premiers éléments ne sont pas anormaux, vous devez détecter la vitesse du moteur et remplacer le rotor ou le moteur si nécessaire.

Le bruit et les vibrations anormaux sont également sa défaillance à haute fréquence, produisant des bruits bruyants ou des tremblements violents du corps lors de son fonctionnement, affectant non seulement la durée de vie de l'appareil, mais pouvant également endommager les composants associés. La cause de la défaillance est principalement un déséquilibre mécanique, tel que la rupture de l'équilibre rotorique, l'usure des roulements ou une lubrification insuffisante, ou peut - être un relâchement de la connexion du Groupe de pompage à la base. Les étapes de diagnostic sont les suivantes: Tout d'abord arrêter pour vérifier le boulon de connexion, avec une clé dynamométrique pour fixer selon le couple standard; Deuxièmement, démontez le corps de la pompe, observez si les billes de roulement ont des rayures, de l'usure, s'il y a un problème, Remplacez - les immédiatement et remplissez la graisse spéciale à haute température; Si le roulement est normal, le rotor doit être calibré pour assurer un centre de gravité stable en rotation.

En outre, les pannes de déclenchement de surcharge du moteur sont également plus courantes, les arrêts soudains dans le fonctionnement de l'équipement et l'interrupteur de protection contre les surcharges dans la boîte de distribution sont ouverts. Cette défaillance est généralement causée par une charge excessive, telle qu'un corps étranger entrant dans la cavité de la pompe bloquant le rotor, une mauvaise dissipation thermique du moteur entraînant une température trop élevée ou une tension d'alimentation instable. Lors de l'inspection, coupez d'abord l'alimentation électrique, tournez le rotor manuellement, si Katun est présent, démontez le corps de la pompe pour éliminer les corps étrangers; Vérifiez si le ventilateur de dissipation de chaleur du moteur est endommagé, si les canaux de dissipation de chaleur sont bloqués, nettoyez ou Remplacez les composants à temps; Détectez simultanément la tension d'alimentation avec un multimètre, assurez - vous qu'elle est dans la plage de tension nominale de l'appareil, chargez un dispositif de régulation de tension si nécessaire.

Son diagnostic et son dépannage doivent suivre le principe de « observer d'abord le phénomène, Réanalyser les causes et traiter avec précision à la fin», tout en effectuant régulièrement une maintenance préventive, telle que le nettoyage des surfaces d'étanchéité, la vérification de l'état des roulements, l'étalonnage des paramètres du moteur, etc., afin de minimiser l'apparition de défauts, de garantir le fonctionnement stable à long terme de l'équipement et de fournir un soutien fiable de l'environnement sous vide pour la production et l'expérimentation de haute précision.