Voici une description détaillée de l'utilisation du système de vaporisation à double Inclinaison:

I. réglage et contrôle des paramètres de base

Mécanisme de régulation synergique à double inclinaison

Une étape de dépôt à la vapeur: en utilisant un petit angle (5 ° - 20 °) pour atteindre l'orientation inclinée de la molécule de cristal liquide, vous devez contrôler précisément l'angle entre le faisceau d'évaporation et le substrat, assurez - vous que le grand axe de la molécule est aligné dans la direction de dépôt à la vapeur.

Phase de dépôt secondaire à la vapeur: après rotation du substrat de 90°, une orientation plane est formée à un angle plus grand (20° - 45°). Ce processus nécessite un ajustement synchrone de l'angle d'inclinaison des deux axes pour éviter les écarts d'azimut conduisant à une pré - inclinaison inégale.

Algorithme de compensation dynamique: pour les revêtements de grande surface, rétroaction intégrée du capteur d'angle en temps réel, dérive mécanique corrigée via le contrôle PID, garantie d'une précision angulaire de ± 0,5°.

Contrôle de la température et du vide

Stratégie de réchauffement segmenté: l'évaporation à faible vitesse (< 100 ° c) de la phase initiale élimine la vapeur d'eau adsorbée, la phase de vaporisation principale monte au point d'ébullition du matériau ± 5 ° C, la fin du refroidissement en dessous du point de fusion empêche l'agglomération.

Gestion du gradient de vide: pré - traitement du vide ≤ 5 × 10⁻⁴ Torr dégazage, phase de vaporisation maintenue 10⁻⁶–10⁻⁷ Torr réduit la diffusion des collisions, combiné avec un détecteur de fuite par spectrométrie de masse à hélium pour surveiller le taux de fuite en temps réel.

II. Normalisation des processus opérationnels

Chargement et positionnement du substrat

Le substrat fixe par adsorption magnétique est utilisé en conjonction avec l'interféromètre laser pour calibrer la planéité (erreur < 2 µm). Le substrat incurvé nécessite un gabarit spécial correspondant au rayon de courbure ≥ 50 mm pour éviter la déformation sous contrainte.

Exécution en plusieurs étapes du placage à la vapeur

Pré - nettoyage: le plasma bombarde la surface du substrat pendant 5 minutes, l'angle de contact est réduit à < 10 ° pour augmenter l'adhérence.

Métallisation à la vapeur par liaison biaxiale: la première couche de sio₂ est métallisée à la vapeur oblique (θ₂ = 70°) à une vitesse de 8 Å / s, donnant un angle de pré - inclinaison de 5° - 35°; Une deuxième couche d'électrodes métalliques, après rotation du substrat, est déposée à la vapeur à θ₂ = 60° pour construire un arrangement moléculaire de type boîte TN.

Recuit in situ: la fin du placage à la vapeur démarre immédiatement le module de contrôle de la température, refroidit à la température ambiante à une vitesse de 5 ℃ / min, libérant les contraintes résiduelles.

Iii. Solutions aux problèmes courants

Optimisation de l'uniformité

Suppression de l'effet d'ombre: l'utilisation d'une source d'évaporation à courbure gaussienne (k > 0) augmente la vitesse de dépôt des bords de 30%, neutralisant les défauts d'épaisseur des bords minces au Centre causés par les sources planes traditionnelles.

Compensation du mouvement du porte - planètes: le rapport de la vitesse de rotation par rapport à la vitesse de rotation est réglé à 3: 1, éliminant les rayures en forme de « queue de comète».

Diagnostic rapide des défauts

Alarme de fissuration du film: suspendre immédiatement le placage à la vapeur, vérifier la résistance au sol du Banc de substrat (la normale doit être < 1 Ω) et le temps de réponse d'ouverture et de fermeture du volet (≤ 0,2 s).

Chute de vide: détecte séquentiellement la quantité de compression de la bague d'étanchéité (dureté Shaw recommandée de 70 ± 5), l'écart de fermeture de la vanne (< 0,1 mm), exclut la possibilité de rétrodiffusion atmosphérique.

Iv. Spécifications de maintenance

Maintenance quotidienne

Nettoyez quotidiennement les résidus de la cavité avec un chiffon sans poussière trempé dans de l'éthanol, en se concentrant sur l'essuyage de l'occlusion pour accumuler du carbone 3.

Changez l'huile de la pompe chaque semaine et notez le temps de récupération du vide (standard ≤ 30min atteint 5x10⁻⁴ Torr).

Calibration périodique

Entretien trimestriel: utilisez un oscillateur à quartz pour calibrer le capteur de vitesse, remplacez la sonde lorsque la déviation est supérieure à ± 5%.

Révision annuelle: démontage du joint rotatif pour laver l'oxyde, renouvellement de la couche de graisse silicone thermiquement conductrice (épaisseur 0,2 mm).

C'est l'essentiel du système de vaporisation à double inclinaison. Suivez strictement ces règles techniques pour tirer pleinement parti des avantages de performance de l'équipement et faire progresser le processus de fabrication des composants optiques.