Dans des expériences telles que la mesure du courant à l'état fermé des transistors, la mesure de la résistivité des matériaux à haute résistance, les propriétés électriques des nanodispositifs, la microscopie à sonde à balayage, etc., les courants de fuite et les courants à mesurer sont eux - mêmes extrêmement faibles lorsque la taille du dispositif est réduite Au niveau nanométrique ou lorsque le matériau est très mince. À ce niveau, les expérimentateurs doivent lutter contre toutes sortes de bruits et de perturbations, y compris les bruits thermiques, les bruits vibratoires et même les charges électriques générées par l'ionisation des molécules dans l'air.

Des expériences avec des courants aussi minuscules nécessitent des courants inférieurs à 100 ampères de vol (FA, soit 10 ^ {- 13} ampères), et pour effectuer des mesures de courant inférieures à 100 fa, un multimètre conventionnel est inutile. Des équipements et des technologies spécialisés doivent être utilisés.

1, électromètre / source unité de mesure: C'est l'équipement de base. Un électromètre ou un smu de haute précision peut mesurer des courants aussi bas que 0,1 fa ou même moins. Ils utilisent une technologie spéciale de « terre imaginaire» et une résistance de rétroaction ultra - élevée (par exemple > 10 ^ {14} Ω).

2, câble triple coaxial: utilisez un câble triple coaxial avec double blindage pour connecter l'appareil testé et l'électromètre. Le blindage externe est mis à la masse et le blindage interne est piloté au même potentiel que le conducteur central (technologie de protection) pour minimiser le courant de fuite et la capacité parasite du câble au maximum 1.

3, blindage et mise à la terre: l'ensemble du système d'essai (y compris la table de sonde) doit être placé dans une bonne cage de Faraday (boîte de blindage métallique) pour protéger contre les interférences électromagnétiques externes.

4, contrôle de l'environnement: le contrôle de l'humidité est très important, car l'air humide créera une voie conductrice sur la surface isolante, introduisant un courant de fuite énorme. Les mesures sont généralement effectuées sous atmosphère d'azote sec ou sous vide.

5, isolation des vibrations: les vibrations mécaniques provoquent un léger déplacement du câble et du connecteur, produisant un bruit électrique de friction, qui est une source de bruit significative dans la mesure de Haute impédance.

Pour résoudre le problème du Temple du courant 100fa, la table de sonde à vide KT - z1604t peut être adoptée, la table porteuse de cette table de sonde est un comptoir en acier inoxydable 60x60, le comptoir peut être chauffé jusqu'à un maximum de 1 jusqu'à 350 ℃. La cavité à vide est conçue avec une entrée d'air et une interface d'aspiration. Le bras de sonde est X / y / z mouvement triaxial, les trois directions peuvent être ajustées avec précision dans un environnement sous vide, où la gamme de réglage de la direction X: 0 - 30mm; gamme de réglage de la direction y: 0 - 20mm; gamme de réglage de la direction Z: 0 - 20mm; l'utilisateur peut ajuster lui - même selon les besoins. Lors de l'utilisation, le dispositif à détecter est fixé sur la table chauffante, la course directionnelle du support de sonde X / y / Z est ajustée de nouveau, l'observation au microscope, de sorte que la sonde est alignée sur le point de détection, après la détection peut être effectuée.