Le processus d'utilisation de la machine de nettoyage au plasma comprend principalement la préparation, le réglage des paramètres, le fonctionnement, la fin du traitement de plusieurs étapes principales. Plus précisément comme suit:

I. travaux préparatoires

1. Inspection de l'équipement: Assurez - vous que chaque composant du nettoyeur à plasma est en bon état, que la prise d'alimentation est correctement branchée et que la tension est conforme aux exigences (généralement AC220V ± 10%), que la source d'air est bien alimentée et que les connexions ne présentent aucune fuite. Vérifiez que les lignes de gaz (par exemple, l'argon, l'oxygène, l'azote) sont étanches et les bulles peuvent être détectées au niveau des joints d'application d'eau savonneuse pour confirmer l'étanchéité. Dans le même temps, assurez - vous que l'appareil est bien mis à la terre pour éviter le risque de fuite d'électricité.

2. Préparation de l'échantillon: nettoyez la surface de l'échantillon à nettoyer des impuretés volumineuses (telles que la poussière, l'huile) et laissez sécher après l'essuyage à l'éthanol anhydre. L'échantillon est fixé sur le porte - échantillon en veillant à ce que la surface ne soit pas occultée et uniformément exposée au plasma, puis placé au centre de la cavité réactionnelle, en évitant de se rapprocher des électrodes. Pour les petits objets, il peut être fixé à l'aide de pinces ou de plateaux empêchant tout mouvement pendant le lavage.

Confirmation de l'environnement et des consommables: Ouvrez les armoires de ventilation ou les dispositifs d'échappement pour éviter la pollution de l'environnement par les gaz générés par la réaction du plasma. Vérifiez la pression du cylindre de gaz (généralement besoin de maintenir 0,2 - 0,5 MPa), Confirmez que le joint de la porte de la Chambre de réaction est propre et non cassé, et que l'environnement expérimental doit être exempt de fortes vibrations ou de poussière.

II. Paramètres

1. Choix du mode: Choisissez le mode de fonctionnement approprié (par exemple, nettoyage conventionnel, nettoyage en profondeur) ou le type de gaz (par exemple, l'oxygène pour la dépollution, l'argon pour l'activation de surface, le mélange argon + oxygène facultatif pour le nettoyage composite) en fonction des besoins de nettoyage.

2. Réglage des paramètres:

- puissance: haute puissance (par exemple 300W) pour les échantillons durs, faible puissance (par exemple 50W) pour les échantillons mous ou sensibles à la chaleur;

- temps: la pollution légère est réglée sur une courte période (30 secondes - 2 minutes), la pollution grave est prolongée à 10 minutes;

- degré de vide: généralement maintenu dans la gamme 10 - 100pa;

- débit de gaz: généralement réglé à 10 - 50sccm, évitez que le débit trop grand brise le vide ou trop petit entraîne une concentration insuffisante de plasma [^ 2 ^]. Certains modèles prennent en charge les paramètres de segmentation (tels que le prétraitement à faible puissance avant le nettoyage à haute puissance).

Iii. Démarrage des opérations

1. Aspiration: Fermez la porte de la cavité de réaction, activez la pompe à vide et pompez la pression à l'intérieur de la cavité à une valeur de consigne (par exemple 20pa). L'instrument est automatiquement averti lorsque vous avez terminé (voyant lumineux ou BIP).

2. Ionisation ventilatoire: en entrant dans le gaz de travail et en maintenant un débit stable, l'alimentation RF commence à exciter le gaz pour produire du plasma. À ce stade, une faible lueur apparaîtra dans la cavité de réaction, phénomène normal.

3. Surveillance en temps réel: Observez les paramètres tels que le degré de vide, le débit de gaz, la puissance et le temps restant à travers l'écran pour s'assurer qu'il n'y a pas d'anomalies (telles que des niveaux de vide inférieurs à la norme ou des fuites de gaz). Certains modèles sont dotés d'une fonction d'alarme automatique et d'une protection contre les temps d'arrêt en cas d'anomalie.

Iv. Fin du traitement

1. Arrêt de la décharge de pression: après la fin du nettoyage, fermez l'alimentation RF et la vanne de gaz, l'instrument entre automatiquement dans le processus de décharge de pression (en équilibrant la pression interne et externe avec une petite quantité de gaz inerte). La porte de la cavité peut être ouverte après la fin de la décompression.

2.pick-up inspection: porter des gants de protection pour retirer l'échantillon et observer l'état de la surface (par exemple, si sec, aucun résidu), l'effet de lavage peut être vérifié par le test d'angle de contact de goutte d'eau. Pour le traitement continu de plusieurs échantillons, l'étape "aspirateur → nettoyage" peut être répétée directement sans éteindre l'alimentation totale.

3. Entretien propre: essuyez le joint de porte de la cavité de réaction et le porte - échantillon avec un chiffon propre pour nettoyer les résidus de poussière dans la cavité. Fermez la vanne du cylindre de gaz, arrêtez la pompe à vide et coupez l'alimentation totale pour terminer la finition.

Le processus de fonctionnement du nettoyeur plasma est standardisé et intelligent, le cœur étant la préparation préalable et l'adaptation des paramètres. L'utilisateur doit ajuster les paramètres de manière flexible en fonction du matériau de l'échantillon (dur / doux, résistant à la température) et des objectifs de lavage (déshuilage, activation, gravure), tout en respectant strictement les spécifications de sécurité (par exemple, port de lunettes, gants). L'entretien régulier de l'équipement (p. ex., vérification de l'étanchéité, nettoyage des cavités de réaction) peut prolonger considérablement la durée de vie de la machine et garantir la stabilité de l'effet de lavage.