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Pluto30Est un système de plasma entièrement fonctionnel spécialement conçu pour la recherche et le développement,13,56 MHzLes générateurs RF et les alimentations réseau auto - adaptées produisent un plasma homogène dans toute la zone du processus.Pluto30La cavité à vide peut supporter jusqu'à7Un porte - échantillon réglable pour contenir des échantillons de différentes tailles de forme.Pluto30Avec plusieurs réglages d'électrodes, configurables pourRIEetPECVDMode, élargissant ainsi la gamme d'applications de ce système, offrant une bonne flexibilité à l'utilisateur.
Les enseignants du Département des macromolécules de l'Université Fudan souhaitent utiliser l'appareil pour mener des expériences de réaction chimique du plasma, c'est - à - dire utiliser le plasma produit par l'appareil pour réagir chimiquement avec la substance à l'intérieur de la cavité à vide avec la pompe à vide et la vanne de gaz fermées, puis acquérir la nouvelle substance produite après la réaction chimique. Cette expérience a un contrôle précis sur les exigences de l'équipement de plasma et des exigences élevées sur la capacité de rétention de pression de la cavité réelle. Après une étude, le client a finalement choisi notre divisionPlutonSérie dePluto30Système de traitement de surface plasma.
Domaines d'application:
Activation de surface
Augmenter l'énergie de surface pour améliorer l'adhérence du matériau: colle de moule pré - pressée; Collage de ligne pré - soudée
Amélioration de la fluidité colloïdale de surface: préformage; Puce pré - inversée débordement
Rugosité de surface et gravure
Réduit les contraintes de surface et améliore l'adhérence de surface
Grisonnement et nettoyage de surface
Gravure plasma (avec configuration rie)
Matériaux diélectriques / III - IV
Nano - revêtement (équipé d'un dispositif de livraison de précurseurs liquides)
Nano - revêtement résistant à l'eau: traitement de surface de la carte de circuit imprimé
Nanorevêtement Anticorrosion: dispositifs médicaux, implants médicaux
