09,11,2026 5vues
La Division métrologie industrielle de Nikon Co., Ltd. A récemment lancé le système de mesure automatique de plaquettes nexiv vmz - nwl 200 pour relever les défis de la métrologie de plaquettes dans les processus semi - conducteurs back - end, qui effectuent traditionnellement plus de travail manuellement que de contrôle de processus Front - end. Le principal marché cible du nexiv vmz - nwl 200 est donc la mesure centrée sur le processus de fabrication de semi - conducteurs en aval.
Le nexiv vmz - nwl 200 atténue la pénurie de techniciens qualifiés pour la mesure manuelle. L'industrie des semi - conducteurs évolue le long de la voie de la miniaturisation, ce qui augmente le niveau de compétence requis pour la mesure et réduit le nombre d'ingénieurs disponibles. D'autre part, le marché des semi - conducteurs continue de se développer, de sorte que de plus en plus d'opportunités de métrologie sont offertes à un nombre de personnes de moins en moins important. La mesure manuelle avec un microscope optique classique a donc atteint ses limites.
Le nexiv vmz - nwl 200 est un système de mesure automatique de plaquettes de 6 ou 8 pouces conservées dans un support selon un programme de mesure. La fiabilité de nexiv et le chargement stable de la plaquette avec nwl assurent une grande répétabilité des mesures. Ce système permet une sélection intuitive des puces à mesurer à l'aide d'un logiciel dédié. Ainsi, n'importe qui peut obtenir les résultats de mesure de puce désirés avec un haut niveau de fiabilité. De plus, le temps et les procédures de mesure peuvent être suivis, ce qui contribue à améliorer la traçabilité.
Le système a été conçu avec la sécurité à l'esprit et un couvercle de protection est fourni pour éviter les dommages causés par les erreurs de l'opérateur. Le fonctionnement est conforme aux normes internationales semi s2, s8 et F47.
À propos de Nikon Metrology
Nikon propose une large gamme de produits, de services et de solutions dans le monde entier, basés sur l'optoélectronique avancée et les technologies de précision accumulées au cours de plus de 100 ans d'histoire de la société. Le Groupe continue de créer de nouvelles valeurs, contribuant à l'amélioration de la qualité de vie et de la fabrication sous toutes ses formes. La Division Industrial Metrology Business Unit (imbu) de Nikon fournit des solutions intégrées et optimisées de très haute précision qui sont non seulement personnalisées et rentables, mais qui fonctionnent également bien immédiatement après leur mise en œuvre. Le développement le plus récent au sein de Nikon Digital Manufacturing est une collaboration plus étroite entre imbu et l'unité commerciale Digital solutions (dsbu) de la société, qui a lancé une gamme de solutions optiques de fabrication Additive et soustractive pour l'usinage de matériaux de différentes finitions de surface submicroniques.
