Disposition de la route de gaz de haute pureté du laboratoire de Tianjin

Disposition de la route de gaz de haute pureté du laboratoire de Tianjin

La disposition du système de tuyauterie de gaz de haute pureté est différente de celle des tuyauteries de gaz ordinaires. En général, il est demandé que les tuyaux ne soient pas trop longs et qu'il n'y ait pas d'angles morts, tels que des "tubes aveugles" qui ne sont pas faciles à souffler. Les orifices d'évacuation et de prélèvement nécessaires doivent être prévus à l'extrémité de la conduite principale ou de la conduite de dérivation. Dans certains utilisateurs en utilisation discontinue, laissez une petite quantité de gaz sortir en continu à l'extrémité du tuyau, de sorte que le gaz dans le tuyau s'écoulera normalement, en évitant l'apparition de « zones mortes». Selon les exigences de qualité des gaz de process, un dispositif de purification terminale doit être installé si nécessaire. En général, les vannes de contrôle, les filtres, les dispositifs de décompression, les manomètres, les débitmètres, les instruments d'analyse en ligne, etc. Les tuyaux de gaz de haute pureté entrant dans l'atelier propre sont concentrés dans la Chambre de population de gaz pour une gestion et un contrôle unifiés.

Tuyauterie de route de gaz de haute pureté et matériaux accessoires de tuyauterie: tuyauterie de transport de tuyauterie de gaz de haute pureté doit utiliser des tuyaux de qualité correspondante en fonction des différentes exigences du processus pour la pureté du gaz, la teneur en impuretés permises, la teneur en particules, etc. Par exemple, l'industrie des semi - conducteurs exige non seulement un environnement de production propre, mais aussi des exigences spécifiques et strictes pour la variété de gaz de haute pureté nécessaires au processus de production en raison de ses processus de production complexes et de son traitement fin. De la technologie micrométrique à la technologie submicronique et submicronique profonde (moins de 0,35 µm), les exigences relatives à la teneur en impuretés et à la teneur en humidité dans les gaz sont très strictes et ne peuvent pas être satisfaites par une échelle de 10 à 6 (PPM). Il est nécessaire d'atteindre 10 - 9 (classe ppb) ou même 10 - 12 (classe ppt) et la taille des particules de poussière doit être contrôlée à 0,05 - 0,01 μm. Par conséquent, les caractéristiques du matériau de la tuyauterie du conduit de transport doivent répondre aux exigences des gaz de haute et très haute pureté.

Caractéristiques des matériaux de tuyauterie pour les tuyaux transportant du gaz de haute pureté, les principales caractéristiques des matériaux de tuyauterie qui affectent la qualité du gaz sont la perméabilité à l'air, le taux d'échappement, l'adsorption, la rugosité de surface, la résistance à l'usure et la résistance à la corrosion.

Exigences d'installation de tuyaux pour systèmes d'alimentation en gaz

, la pose du tuyau doit être conforme aux exigences de conception, lorsque la conception n'a pas d'exigences, le tuyau de gaz sec doit être installé horizontalement; Les tuyaux qui transportent l'humidité doivent être installés avec une pente d'au moins 0003 et la pente doit être orientée vers le collecteur d'eau de condensation.

Le tuyau adopte la connexion soudée, fond de soudure à l'arc d'argon de pôle de tungstène, couverture de soudure à l'arc à la main. Le soudage de tuyaux en acier inoxydable ou le soudage par points doit être effectué avec des mesures de protection chargées d'argon

Les tuyaux et équipements de gaz, les robinets et autres accessoires doivent être raccordés par brides ou par vissage. Le remplissage des joints filetés doit être un film de polytétrafluoroéthylène

, le tuyau de gaz à travers la salle blanche, la partie exposée du joint de bride ou du remplissage fileté, doit être nettoyée

Le tuyau de gaz adopte le sablage pour enlever la rouille ou le décapage pour passiver le tuyau en acier sans soudure, doit être une installation centralisée, l'installation doit être combinée par segments dans les 48 heures, la protection de l'azote, la pression de remplissage n'est pas inférieure à 0,2 MPa

Pour les tuyaux de gaz avec des exigences de mise à la terre, des cordons conducteurs doivent être soudés entre les brides. La Section du conducteur et la longueur de la nappe soudée doivent être conformes aux exigences de conception. Les points de soudure doivent être solides et fiables.

Disposition de la route de gaz de haute pureté du laboratoire de Tianjin