Équipement de nettoyage de fente de 12 pouces

1. Aperçu du produit:

Équipement de nettoyage de fente de 12 poucesLa plate - forme pinnacle300 convient aux processus de nettoyage dans les domaines des circuits intégrés, des semi - conducteurs de puissance, des matériaux de substrat, des micro - écrans à base de silicium. Ce banc se compose principalement de modules de transmission, de modules de processus, de systèmes d'alimentation en liquide pharmaceutique, d'armoires de puissance, etc. Le module de transfert transfère la plaquette à l'emplacement, peut transférer 50 feuilles en même temps, le module de processus pour le nettoyage et la gravure, le module d'alimentation en liquide médicinal pour le dosage de liquide médicinal de haute précision, le chauffage, l'alimentation, la surveillance de la concentration.

2. équipementApplicationPour:

Taille de la plaquette

12 pouces

Matériaux applicables

Photorésistance, silicium monocristallin, silicium polycristallin, oxyde de silicium, Nitrure de silicium, film métallique, oxyde métallique

Processus applicable

Avant le four, gravure/ nettoyage après polissage, photorésistance, oxydes métalliques, élimination des nitrures, récupération des butées

Domaines d'application

Circuits intégrés, semi - conducteurs de puissance, matériaux de substrat, micro - affichage à base de silicium

3. Paramètres caractéristiques:

Nombre de cuves de nettoyage: il existe généralement plusieurs cuves de nettoyage pour permettre différentes étapes du processus de nettoyage, par exemple, il peut y avoir plusieurs cuves de nettoyage chimique, des cuves de rinçage à eau pure, etc.

Équipement de nettoyage de fente de 12 poucesMéthode de nettoyage: plusieurs méthodes de nettoyage peuvent être prises en charge, telles que le nettoyage chimique, le nettoyage mégasonique, etc. pour éliminer efficacement divers contaminants de la surface de la plaquette.

Contrôle de la température: avec une capacité de contrôle de la température précise, il peut ajuster la température du liquide de nettoyage ou du processus de traitement dans une certaine plage de température pour répondre aux besoins de différents processus de nettoyage.

Temps de processus: capable de régler et de contrôler avec précision le temps de chaque étape de lavage, assurant la cohérence de l'effet de lavage.

Taille de la plaquette: convient pour Nettoyage de disque de 12 pouces, peut bien répondre aux exigences de nettoyage des disques de grande taille.

Degré d'automatisation: avec un niveau d'automatisation élevé, il peut réaliser la transmission automatique de la plaquette, le positionnement et le contrôle automatique du processus de nettoyage, améliorer l'efficacité de la production et réduire l'erreur d'exploitation humaine

4. Caractéristiques de l'équipement

Peut être équipé d'un slot de processus Multi - liquide, supportFonctionnalités accessoires comme dio₃

Logiciel sur mesure avec capacité de mise à jour rapide

Stabilité élevée du contrôle de la température

Ultra haute précision de réhydratation

Contrôle précis du taux de gravure

Excellent effet de séchage