Nettoyeur de fente entièrement automatique de 6 / 8 pouces

1. Aperçu du produit:

Gama sérieNettoyeur de fente entièrement automatique de 6 / 8 poucesRépond à tous les besoins de processus humide, couvre RCA, pr Strip, Solvent, Wet etch et d'autres applications, peut être utilisé pour les nœuds de processus typiques 0,35um, 0,18um, peut prendre en charge les nœuds de processus 90nm, peut être compatible avec les plaquettes de 6 et 8 pouces- Oui.

2. équipementApplicationPour:

Taille de la plaquette

6, 8 pouces

Matériaux applicables

Silicium, carbure de silicium, Nitrure de gallium à base de silicium

Processus applicable

Prélavage, dégraissage, enlèvement de nitrure de silicium, enlèvement de métal(Co, Ti), nettoyage Recycle, nettoyage après polissage, nettoyage avant EPI, nettoyage après EPI

Domaines d'application

Circuits intégrés, matériaux de substrat, semi - conducteurs composés, semi - conducteurs de puissance

3. Avantages caractéristiquesPour:

Huaching du Nord Les nettoyeurs Gama Series se comportent en termes d'uniformité de la corrosionClairement. l'uniformité de la corrosion est d'une importance cruciale pour garantir la cohérence et la stabilité de la fabrication des puces.
Ce nettoyeur garantit un effet corrosif très uniforme sur toute la surface de la plaque grâce à un système de circulation de fluide bien conçu, un mécanisme de distribution de solution chimique et une stratégie de contrôle de la température. La cohérence du degré de corrosion est maintenue, que ce soit sur de grandes surfaces de plaquettes ou dans des zones de structure graphique complexe.
Des techniques telles que la pulvérisation uniforme à plusieurs têtes de pulvérisation, le nettoyage rotatif et d'autres ont pu être utilisées, permettant à la solution chimique de couvrir uniformément la surface de la plaque et d'éviter l'apparition d'une corrosion locale excessive ou insuffisante. Dans le même temps, un système de contrôle précis de la température peut assurer l'uniformité de la température tout au long du processus de nettoyage, car les différences de température peuvent affecter la vitesse et l'uniformité de la réaction de corrosion. Dans des applications pratiques, cette machine de nettoyage offre une excellente uniformité de la corrosion, même face à des plaques de différents matériaux et épaisseurs, améliorant ainsi efficacement la qualité et les performances de la puce.

4. Caractéristiques de l'équipement

Conception structurelle compacte, petite empreinte

Conception modulaire, configuration flexible et évolutive

Conception mature de fente de processus pour assurer la stabilité de processus

Système de pesage chimique précis pour un processus de haute qualité