Thermomètre de banc Aixtron ex - C - 7fl

NégociableMise à jour sur05/07

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Vue d'ensemble

Le pyromètre à tube Saphir de haute précision de la série ex - C - 7fl de BASF est utilisé comme système de mesure de la température (Bottom Temperature Monitor) au fond des bancs MOCVD Aixtron G3, G4, G5.

Détails du produit

Caractéristiques principales

Mesure à basse température avec ondes courtes	Haute précision, résolution jusqu'à 0,01ºc, précision thermométrique de 1,5ºc
Répétabilité thermométrique 0,1ºc, dérive de température pas plus de 0,1ºc / an	Vitesse de mesure jusqu'à 1000 valeurs / seconde
Sortie numérique / ou analogique, facile à intégrer dans le système de contrôle

Description détaillée

Thermomètre de banc Aixtron ex - C - 7flPyromètre à tube Saphir de haute précision fabriqué par BASF et utilisé comme système de mesure de la température (Bottom Temperature Monitor) au bas des bancs MOCVD Aixtron G3, G4, G5.

Thermomètre de banc Aixtron ex - C - 7flContient le capteur ei110, la fibre optique, le tube optique saphir, le module numérique ifd5, le module analogique ifa5, le câble compagnon, etc., la plage de mesure de la température couvre 100 - 1800 ℃, la précision jusqu'à 1,5 ℃, la répétabilité 0,1 ℃.

BASF Exactus ® Thermomètres sérieIl a été largement utilisé dans les processus semi - conducteurs tels que le recuit rapide, l'oxydation rapide, le dépôt de couches minces, etc. et a été intégré à plusieurs dispositifs MOCVD ainsi qu'à d'autres dispositifs RTP tels que: Aixtron, lpe, premtek, etc. En outre, en raison de sa haute précision thermométrique et de sa stabilité, il est également utilisé par certains fabricants de fours noirs à haute température comme étalon de température, tels que thermogauge.

Applications typiques

Contrôle de la température RTP	MOCVD contrôle de la température
MBE contrôle de la température	Standard de température

Paramètres techniques

Paramètres de mesure
Plage de température:	100 – 1800℃
Longueur d'onde de travail:	1550 nm
Précision de mesure:	Meilleure que 1,5 ℃ ou 0,15% de mesure
Résolution:	最高0.01℃
Précision de répétition:	0.1℃
Dérive de température:	Max 0,10 ℃ / année Environnement: 0,05 ℃ / ℃ @ 20 - 45 ℃, 0,10 ℃ / ℃ @ autres températures
La lentille:	Tube de lumière saphir

Paramètres physiques
Alimentation électrique:	12-28 VDC, 3 W
Température de stockage:	-20 à 70 ℃
Température ambiante:	ÉLECTRONIQUE: 0 - 60℃ Lentille spéciale pour les environnements difficiles: 0 - 250 ℃ Fibre à haute température: 0 - 250 ℃
Matériau du boîtier:	Boîtier pour capteur et objectif, acier inoxydable 304 / aluminium; Boîtier soufflé à l'air, aluminium; Lentille spéciale pour les environnements difficiles: acier inoxydable 304;
Poids:	Pyromètre standard, 0510 kg (1125 LBS.) Capteur à fibre optique, 0198 kg (7 OZ.)

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