Thermomètre de banc lpe ex - S - 3fp

NégociableMise à jour sur05/07

Modèle

Nature du fabricant: producteurs

Catégorie de produit

Lieu d'origine

Consulter en ligne

Vue d'ensemble

Thermomètres de type lpe série ex - S - 3fp les produits pyromètres de la série BASF exactus, largement utilisés sur des bancs de type lpe (type à cavité réactive semi - lunaire), sont les composants centraux des systèmes de thermométrie à base de fours épitaxiés SiC.

Détails du produit

Caractéristiques principales

Mesure à basse température avec ondes courtes	Haute précision, résolution jusqu'à 0,01ºc, précision thermométrique de 1,5ºc
Répétabilité thermométrique 0,1ºc, dérive de température pas plus de 0,1ºc / an	Vitesse de mesure jusqu'à 1000 valeurs / seconde
Sortie numérique / ou analogique, facile à intégrer dans le système de contrôle

Description détaillée

Thermomètre de banc lpe ex - S - 3fpGamme de produits pyromètres BASF exactus, BASF Exactus ® La technologie infrarouge originale offre de nombreux avantages dans le contrôle de l'uniformité de la température et de l'épaisseur du film entre les plaquettes: une électronique hautement sensible et une excellente technologie optique permettent de mesurer l'énergie rayonnante avec des détecteurs de longueurs d'onde plus courtes, ce qui réduit les erreurs causées par la transmission et l'émissivité Des plaquettes. De plus, la mesure à haute vitesse et la haute résolution garantissent d'excellentes performances de contrôle de la température et de suppression du bruit, ce qui permet une meilleure surveillance de la température des plaquettes et des processus de production.

BASF Exactus ® Les appareils thermométriques de série ont été largement utilisés dans les processus de semi - conducteurs tels que le recuit rapide, l'oxydation rapide, le dépôt de couches minces, etc. et ont été intégrés à plusieurs appareils MOCVD ainsi qu'à d'autres appareils RTP tels que: Aixtron, lpe, premtek, etc. En outre, en raison de sa haute précision thermométrique et de sa stabilité, il est également utilisé par certains fabricants de fours noirs à haute température comme étalon de température, tels que thermogauge.

Thermomètre de banc lpe ex - S - 3fpLa configuration complète comprend le capteur ei110, la fibre optique, le module numérique ifd5, le module analogique ifa5, le stylo laser vert, le câble d'accompagnement et le support de montage correspondant. Précision jusqu'à 1,5 ℃, répétabilité 0,1 ℃.

Applications typiques

Contrôle de la température RTP	MOCVD contrôle de la température
MBE contrôle de la température	Standard de température

Paramètres techniques

Paramètres de mesure
Plage de température:	130 – 2200℃
Longueur d'onde de travail:	700 - 1650 nm
Précision de mesure:	Meilleure que 1,5 ℃ ou 0,15% de mesure
Résolution:	最高0.01℃
Précision de répétition:	0.1℃
Dérive de température:	Max 0,10 ℃ / année Environnement: 0,05 ℃ / ℃ @ 20 - 45 ℃, 0,10 ℃ / ℃ @ autres températures
Taux de mesure:	Jusqu'à 1000 mesures / seconde, temps de réponse 1ms
objectif	Distance focale fixe, le chemin optique peut être personnalisé.

Paramètres physiques
Alimentation électrique:	12-28 VDC, 3 W
Température de stockage:	-20 à 70 ℃
Température ambiante:	ÉLECTRONIQUE: 0 - 60℃ Lentille spéciale pour les environnements difficiles: 0 - 250 ℃ Fibre à haute température: 0 - 250 ℃
Matériau du boîtier:	Boîtier pour capteur et objectif, acier inoxydable 304 / aluminium; Boîtier soufflé à l'air, aluminium; Lentille spéciale pour les environnements difficiles: acier inoxydable 304;
Poids:	Pyromètre standard, 0510 kg (1125 LBS.) Capteur à fibre optique, 0198 kg (7 OZ.)

Produit similaire Recommander