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Salle 102, porte 2, bâtiment résidentiel 8, Huayan beili II, secteur Chaoyang, Pékin
Beijing huayuzhi Tong Technology Development Co., Ltd
Salle 102, porte 2, bâtiment résidentiel 8, Huayan beili II, secteur Chaoyang, Pékin
Le wsb300 permet une épaisseur de collage sans fissuration, une grande Répétabilité et une excellente précision dimensionnelle des plaques ultra - minces lors du collage grâce à un contrôle précis du diaphragme flexible (diaphragme) à l'intérieur de la cavité de collage. Ce diaphragme permet de presser la plaquette de manière contrôlée dans la couche de cire, formant une couche tampon homogène et parallèle, protégeant ainsi efficacement la plaquette et sa structure de dispositif. Dans le même temps, la conception de la structure de l'équipement évite le contact direct de la plaque / substrat et de la structure du dispositif avec le disque de support, ce qui réduit encore le risque de dommages à la plaque. L'appareil utilise une interface de contrôle à écran tactile, un fonctionnement intuitif et l'utilisateur peut programmer le contrôle des paramètres de processus clés tels que la température et la charge. Le système de collage à pression intégré combine le vide avec le réglage de la pression positive pour obtenir un effet de collage stable et fiable. Sa cavité de vide / pression prend en charge des échantillons d'un diamètre maximal de 300 mm (12 pouces) et d'une épaisseur de 12 mm, le système après la mise en place de l'échantillon peut soulever automatiquement le vide et chauffer à la valeur de consigne, le temps de processus spécifique dépend du matériau de liaison, de la taille de la plaquette et de la combinaison de paramètres de processus. L'ensemble du processus de collage prend en charge le contrôle entièrement automatique du temps, de la température et du processus de volatilisation de la cire, et peut être ajusté et optimisé de manière flexible en fonction de la demande, y compris la phase de refroidissement, généralement en environ 60 minutes pour un processus de collage automatisé de haute qualité.