Système de polissage abrasif de précision

La série DL est LogitechavoirDes solutions de traitement innovantes, son dernier système de préparation d'échantillons intelligent hautement automatisé. Le système offre un contrôle dynamique de la charge des pinces pneumatiques intelligentes Logitech, permettant des résultats rapides, fiables et très précis dans une large gamme d'applications de semi - conducteurs.

* L'automatisation réduit considérablement les temps de configuration et de nettoyage, tandis que le logiciel intégré fournit une plate - forme conviviale avec des fonctions d'usinage précises et contrôlables. Les pinces pneumatiques intelligentes de Logitech utilisent la pression de l'air pour exercer une pression d'appui jusqu'à 40 kg sur la pince et peuvent atteindre des vitesses de rotation allant jusqu'à 100 tr / min, garantissant ainsi d'excellents résultats de chargement de l'échantillon tout au long du processus. Ces fonctionnalités répondent aux besoins même des applications les plus exigeantes.

Deux configurations sont disponibles: le modèle dl81 avec une seule station de travail; Modèle dl82 avec deux postes de travail. Système autonome, équipé de plaques de 600 / 700 mm de diamètre. Jusqu'à deux pinces pneumatiques de précision peuvent être utilisées simultanément pour traiter de grands échantillons individuels ou plusieurs échantillons plus petits. La taille maximale d'un échantillon fixe à pince peut atteindre 8 pouces / 200 mm ou 12 pouces / 300 mm pour un échantillon abrasif libre.

Pince de broyage électrique capable d'atteindre une grande précision géométrique et de maintenir une rotation stable de l'échantillon tout au long du processus, ce qui permet d'obtenir une excellente uniformité de la plaquette reproductible.

La pince pneumatique de précision dispose d'un système intégré d'étalonnage de la pression sous mandrin et d'un bras de levage automatique de la pince qui permet de monter la pince sur et hors de la plaque et de la retourner pour que le mandrin soit orienté vers le haut afin que les opérateurs puissent traiter les échantillons. La pince peut être programmée pour se soulever automatiquement lorsque la quantité d'élimination cible est atteinte - ce qui permet des opérations automatisées et empêche le surusinage. Le taux d'enlèvement des matériaux (MRR) peut être surveillé et contrôlé avec une précision de niveau micrométrique. Le moniteur d'épaisseur de plaque in situ évaluera et contrôlera l'état de la plaque. Dans le traitement. Le Protocole EtherCAT, reconnu internationalement, est utilisé pour permettre la communication avec les principales unités motrices afin de déterminer les paramètres utiles à la surveillance et au diagnostic de la machine, tandis qu'un phare de circulation industrielle fournit des alertes sur l'état de la machine. Peut accueillir jusqu'à quatre cylindres pour l'usinage en plusieurs étapes. Le cylindre de 3,8 litres de capacité supplémentaire signifie un processus de traitement plus long et ininterrompu qui peut être utilisé pour le broyage et le polissage de la boue. Une unité d'alimentation en abrasifs dosée par pompe péristaltique permet à l'opérateur de régler un débit de 5 à 100 ml par minute. Cela améliore considérablement la qualité et la précision des résultats tout en réduisant les déchets et les coûts d'exploitation. Ce systèmeOuiFermé et étanche, avec évent (diamètre 150 mm) permettant l’installation de raccords d’extraction pour le traitement de matières dangereuses telles que l’arséniure de gallium (GaAs) ou le phosphure d’indium (INP). Equipé d'un chariot de réparation pour une manipulation sûre et facile des plaques Abrasives et polies. Il peut être soulevé du sol à la zone de travail avec un poids de levage maximal de 200 kg et une distance d'extension de 380 mm. Analyse et contrôle en temps réel des paramètres du processus, y compris l'alimentation en abrasifs, via l'interface utilisateur graphique (Gui) du système. Écran de 15 pouces et interface utilisateur à écran tactile. Ce mode permet aux opérateurs de créer, de sauvegarder et d'invoquer des recettes de processus en plusieurs étapes, garantissant que chaque processus de processus peut être répété, même sous différentes opérations d'opérateurs. Ce système logiwaste intégré est capable de traiter efficacement les déchets de boue. Le bassin de reprécipitation est raccordé de manière étanche au bac d'égouttage pour empêcher les gaz de s'échapper, de manière à faciliter son démontage et son retrait pour traitement. Le décanteur lourd est relié au décanteur intermédiaire et au réservoir de stockage de liquide.