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Courriel
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
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Téléphone
18610520676
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Adresse
Cour 13, rue Jingyuan, zone de développement économique et technologique de Beijing
Catégories de produits
Chine électronique Cie., Ltd de Pékin
Bv300 vanne papillon
NégociableMise à jour sur01/07
- Modèle
- Nature du fabricant
- producteurs
- Catégorie de produit
- Lieu d'origine
Vue d'ensemble
La vanne papillon bv300 est largement utilisée dans les semi - conducteurs, les écrans plats, l'énergie solaire au silicium cristallin et les processus industriels pour contrôler la pression en aval de la Chambre, ce qui peut être personnalisé pour répondre aux besoins de contrôle de pression rapide dans des conditions de processus exigeantes.
Détails du produit
Points d'innovation
Technologie de détection de pression auto - adaptée à deux voies
Prend en charge l'acquisition de signal de jauge à vide à deux voies, compatible avec l'alimentation de jauge à vide ± 15V ou + 24V, peut Commuter automatiquement la plage de mesure en fonction des besoins du processus.
Technologie de contrôle de pression L - V - p
L'unité de contrôle de la pression en enregistrant la pression dans l'environnement du processus et la relation d'ouverture de la vanne, en utilisant la position, la vitesse et la pression du contrat de jonction de phase à trois anneaux pour effectuer le rapport de niveau de pression, le rapport de pression de position, la position de pression cible, le long calcul dynamique de l'estimation de la pression cible, afin d'intervenir activement dans la quantité de changement d'ouverture de l'orifice de la vanne et d'obtenir une pression de contrôle rapide et stable
Techniques Fonctionnelles d'auto - apprentissage
Soutenez la fonction d'auto - apprentissage, qui peut s'adapter à différents systèmes de vide de chambre et à différentes conditions de travail pour obtenir un contrôle de pression rapide et précis.
Technologie d'entraînement servo
L'adoption d'un système embarqué servocommandé personnalisé, par l'algorithme de contrôle de rampe multipoint, permet un positionnement plus rapide de la plaque papillon, le temps de réponse de l'interrupteur peut atteindre 0,2 S.
Domaines d'application
Semi - conducteurs - circuits intégrés
Semi - conducteurs - encapsulation
Affichage semi - conducteur
Éclairage semi - conducteur
Semi - conducteurs - microsystèmes électromécaniques
Semi - conducteurs de puissance
Semi - conducteurs composés
indicateurs techniques
| modèle | BV300 |
| Forme et taille de l'interface d'extrémité de bride | ISO-KF: DN40, DN50; ISO-F : DN63, DN80, DN100, DN160 et DN200 |
| Taux de fuite | 1 × 10E-9 mbar l/s |
| Plage de pression (à 20 ℃) | 1 × 10E-8mbar-1.2bar (abs) |
| Précision du contrôle de pression | 5 mV or 0.1%of setpoint, Les deux prennent |
| Signal d'entrée du capteur | 0-10VDC |
| matière | Corps de valve / plaque de valve: 316L / aluminium; Bague d'étanchéité: caoutchouc fluoré / perfluoré |
| Résolution de position | 12800 (angle de 90°) |
| Temps de réponse | Modèle non scellé: interrupteur 0.2s; modèle scellé: interrupteur 0.6s |
| Interface de communication | D-Sub, DB-25 Femme, RS422/RS485, RS232, DeviceNet, EtherCAT |
| Interface d'alimentation | D-Sub, DA-15 mâle, +24 VDC (±10%) @ 0,5 V pk-pk max |
| Interface de jauge de vide (interface de capteur) | D-Sub, DA-15 femelle |
| Température ambiante de fonctionnement | 0℃ à + 50℃ Max. (recommandé < 35℃) |
| Emplacement d'installation | Installation horizontale et verticale |
Remarque :
Les vannes papillon sont généralement étalonnées avec la tension pour le signal du capteur
L'unité de pression du gaz est spécifiée comme suit: Torr (Torr); Mbar (millibars)
L'état standard est spécifié comme suit: température - 273,15 K (0 °C); Pression d'air - - 101325 Pa (760 mm Hg)
F.S. (Full scale): valeur de pleine échelle; S.P. (set point): valeur de consigne
