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Suite 801, bâtiment E, 7001 zhongchun Road, Minhang District, Shanghai
Shanghai Aldi Instrument Technology Co., Ltd
Suite 801, bâtiment E, 7001 zhongchun Road, Minhang District, Shanghai
Stepper bruker dektak pro bruker
Dektak Pro ™ Pour sa polyvalence, la facilité d'utilisation et largement approuvé dans l'épaisseur du film, la hauteur des marches, le stress, la rugosité de surface et la gauchissement de la plaquette mesures. La onzième génération de dektak ® Le système, avec une représentation de la répétabilité 4Å et une option de plate - forme de 200 mm, peut fournir une variété d'analyses pour la topographie de surface des matériaux dans les domaines de la recherche scientifique et industrielle. Dektak pro a établi une nouvelle image dans la mesure de surface et est idéal pour les applications de microélectronique, de couches minces et de revêtements et de sciences de la vie.
Paramètres du produit dektak pro
| Techniques de mesure | Mesure de profil de sonde (mesure de contact) |
| Fonction de mesure | Mesure de profil de surface bidimensionnelle; Mesure 3D optionnelle |
| Champ de vision de l'échantillon | Grossissement en option, 0275 à 2,2 mm |
| Capteur de sonde | Capteur de faible inertie (lis 3) |
| Pression de la sonde | 1 à 15 mg avec capteur lis 3 |
| Faible force de forçage | Capteur de force subtile n - Lite +, 0,03 à 15 mg (en option) |
| Options de sonde |
Options de rayon de sonde de 50 nm à 25 µm;
Pointe d'aiguille à rapport de diamètre élevé (har) 200 µm x 20 µm;
Pointe d'aiguille personnalisée disponible selon les exigences du client
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| Table d'échantillons table XY |
Manuellement 100 mm (4 '), nivellement manuel;
Motorisé 150 mm (6 '), nivellement manuel;
Motorisé avec encodeur 200 mm (8 '), nivellement manuel
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| Table rotative pour échantillons | Manuel ou automatique, continu 360° |
| Dispositif d'amortissement des chocs | Dispositif d'amortissement disponible (en option) |
| Gamme de longueur de scan | 55 mm(2'); 200 mm (8 ') avec possibilité d'épissure par balayage |
| Chaque point de données scanné | Jusqu'à 120 000 points de données |
| Épaisseur d'échantillon jusqu'à | 50 mm (1.95') |
| Taille de disque jusqu'à | 200 mm (8') |
| Hauteur de répétition des marches | 4 Å, 1 Sigma (≤ 1 μm d'échantillon standard) |
| Gamme verticale | 1 mm (0.039') |
| Résolution verticale | 1 Å (@ 6,55 μm) |
| Tension d'entrée | 100 à 240 vac, 50 à 60 Hz |
| Plage de température | Plage de fonctionnement 20 à 25 °C (68 à 77 °F) |
| Plage d'humidité | ≤ 80%, sans condensation |
| Dimensions et poids du système |
Dimensions: 455 mm W X 550 mm d x 370 mm H (17,9 'W X 22,6' d x 14,5 'h);
Poids: 34 kg (75 LB);
Dimensions du boîtier: 550 mm L x 585 mm W X 445 mm H (21,6 'l)
x 23' W x 17.5' H);
Poids du boîtier: 5,0 kg (11 LB)
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