Analyseur de gaz CF4

Analyseur de gaz CF4Présentation de gasera one

L'analyseur Multi - gaz gasera one est basé sur la technologie de spectroscopie photoacoustique laser avec des détecteurs et des sources lumineuses largement utilisés dans la recherche scientifique, l'industrie et d'autres domaines; Où le détecteur est une technologie de microphone optique à poutre en porte - à - faux améliorée de très haute sensibilité.

Le gaz CF4 est largement utilisé dans la fabrication de semi - conducteurs, la surveillance environnementale et la sécurité industrielle. La technologie de spectroscopie photoacoustique permet une mesure très sensible et très stable de la concentration en CF4 en détectant le signal acoustique produit après que le gaz ait absorbé l'énergie lumineuse.

Analyseur de gaz CF4Gasera one - la solution

En choisissant un excellent type de source lumineuse, gasera one s'adapte à de nombreux besoins d'application;

Pour des solutions de mesure plus complexes, plusieurs Gamera one peuvent être associées pour fournir une solution simple à l'application.

Analyseur de gaz CF4Gasera one - Opérations

Le gasera one offre aux utilisateurs un écran haute résolution simple et intuitif et des boutons de commande. En outre, les utilisateurs peuvent contrôler le gasera one via un smartphone, une tablette ou un autre appareil.

Analyseur de gaz CF4Gasera one - technologie

Principe de fonctionnement: spectroscopie photoacoustique laser

Microphone optique à capteur de poutre Cantilever MEMS ultra sensible, interféromètre laser couplé pour mesurer les microdéplacements de poutre cantilever

Configurer les sources lumineuses en fonction des besoins de l'application, tels que la sensibilité et les types de composants gazeux

Les sources lumineuses appropriées comprennent un laser à semi - conducteur accordable (TDL), de niveau quantique, un laser en cascade (qcl), un laser en cascade quantique à cavité externe (EC - qcl), un laser en cascade inter - bandes, (ICL)， Oscillateur paramétrique optique (opo), source de lumière infrarouge large bande (Ndir) avec filtre

Température constante de la chambre à gaz 50℃

Analyseur de gaz CF4Gasera one - générique

Châssis industriel 19 "3 u pour une installation fixe complète sur bureau ou en rack

尺寸： 48,4 cm L x 13,9 cm H x 44 cm D (19,1 en L x 5,5 en H x 17,3 en D)

Poids: environ 13kg

Ordinateur intégré avec écran frontal intégré de 7 "

Surveillance continue avec une capacité de stockage de données suffisante pendant au moins 1 an

Récupération d'air totale: 10 ~ 30ml

Le panneau arrière a une interface de gaz à quatre voies, les deux voies sont des interfaces d'échantillonnage, équipées d'un filtre à particules de poussière

Alimentation électrique:

Tension d'entrée: 100 ~ 240vac, 50 ~ 60 Hz

Puissance d'entrée: 100 ~ 200 W (selon les exigences spécifiques)

Interface de communication: Ethernet, USB

Gasera one peut être utilisé via un smartphone, une tablette, un ordinateur portable ou un autre gasera one

Analyseur de gaz CF4Gasera one - environnement

Conditions de travail:

Plage de température: 0 ℃ ~ + 40 ℃

Humidité: moins de 90% HR, sans condensation

Plage de pression: pression atmosphérique

Degré de protection: IP20 (IEC 529)

Conditions de stockage:

Plage de température: - 20 ℃ ~ + 60 ℃

Conditions d'échantillonnage:

Température: 0 ~ + 49 ℃

Humidité: sans condensation

Débit de gaz: environ 1L / min

Pression: 930mbar ~ 1100mbar

Microparticules < 1 μm

Analyseur de gaz CF4Gasera one - Paramètres de détection

Temps de réponse: typiquement de 5 secondes à quelques minutes selon le temps d'intégration du canal (c.i.t.) et la période de déplacement du gaz

Limite de détection: 0,1 ppb

Plage dynamique: 5 niveaux typiques (100 000 fois la limite de détection)

Répétabilité: moins de 1% de la valeur mesurée, à la concentration standard des conditions de travail

Précision: dépend de la précision du gaz étalon de concentration d'étalonnage, typiquement 2 ~ 5%

Stabilité de la température: aucun effet dans la plage de fonctionnement de la température

Stabilité de pression: aucun effet dans la plage de travail de pression