Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Besoins de détection:

Les salles blanches doivent contrôler les niveaux de contaminants. Le contrôle AMC précis, fiable et à faible coût de maintenance de la fraction gazeuse de la salle blanche ⼦ contaminants peut augmenter considérablement la capacité de production.

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Surveillance fiable:

Haute sensibilité DKG one - CF₄Les contaminants peuvent être détectés rapidement dans un environnement de production. En outre, la détection par absorption directe garantit une stabilité élevée à long terme en raison de sa nature de fond nul.

Microphone optique à poutre Cantilever ultra sensible

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Applications techniques:

DKG ONE-CF₄L'analyseur est basé sur la technologie de détection spectrale Opto - acoustique améliorée de la poutre en porte - à - faux ultrasensible, combinée à une source de lumière laser en cascade (qcl), fonctionnant sur CF₄Le pic d'absorption spectrale élémentaire de l'infrarouge moyen. La combinaison des deux fournit ⾜ assez de sensibilité pour détecter la plus petite concentration de CF sans délai₄Débordement tout en garantissant un très haut niveau de stabilité. Le recalibrage dure plusieurs années, ce qui réduit considérablement le coût total de détention.

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Avantages:

Contrôle précis, fiable et à faible coût d'entretien de la contamination des salles blanches

Temps de réponse rapide pour capturer une augmentation soudaine de la concentration

Système de fonctionnement indépendant, pompe d'échange de gaz intégrée

Sans consommables ni agents chimiques

Courte distance optique, étalonnage à point unique peut également atteindre une plage dynamique exceptionnelle

Mesure d'absorption directe sans dérive

Intervalles d'étalonnage longs (jusqu'à plusieurs années)

Haute sélectivité, non perturbé par l'acétaldéhyde et d'autres COV

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Caractéristiques:

Surveillance hautement sélective des traces de CF₄

Limite inférieure de détection (LOD) inférieure à 0,1 ppb

Temps de réponse réglable de 3 secondes à 3 minutes

Large plage dynamique, fonctionnement stable

Pas de consommables

Faible volume d'échantillon

Système d'échange de gaz intégré

Long intervalle de recalibrage (plusieurs mois)

Interface utilisateur intuitive

Écran intégré, affichage numérique ou linéaire des résultats

Peut fonctionner à distance via Lan

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Options de châssis:

Analyse en ligne en temps réel

DKG ONE-CF₄Fournir aux utilisateurs une interface utilisateur simple et intuitive, y compris un bloc d'affichage haute résolution et un bouton rotatif.

Opération portable

Le boîtier externe portable en option convient à la détection des zones de fuite prévisibles.

Programme d'intégration mobile

Plusieurs DKG one - CF₄Les unités peuvent être intégrées dans le même système de surveillance.

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Principes techniques

Principe de fonctionnement: spectroscopie photoacoustique infrarouge

Microphone optique ultra - sensible basé sur un capteur en porte - à - faux micromoteur combiné à un interféromètre laser pour mesurer le mouvement microscopique de la poutre en porte - à - faux

Source lumineuse: laser à cascade quantique à rétroaction distribuée

La température de la cellule d'échantillon est stabilisée à 50 ℃

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Paramètres de détection

Temps de réponse: typiquement de 3 secondes à 3 minutes selon le temps d'intégration du canal (c.i.t.) et la période de déplacement du gaz

Limite de détection: 0,1 ppb

Plage dynamique: 5 niveaux typiques (100 000 fois la limite de détection)

Répétabilité: moins de 1% de la valeur mesurée, à la concentration standard des conditions de travail

Précision: dépend de la précision du gaz étalon de concentration d'étalonnage, typiquement 2 ~ 5%

Stabilité de la température: aucun effet dans la plage de fonctionnement de la température

Stabilité de pression: aucun effet dans la plage de travail de pression

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Général

Châssis industriel 19 "3 u pour une installation fixe complète sur bureau ou en rack

尺寸： 48,4 cm L x 13,9 cm H x 44 cm D (19,1 en L x 5,5 en H x 17,3 en D)

Poids: environ 13kg

Ordinateur intégré avec écran frontal intégré de 7 "

Surveillance continue avec une capacité de stockage de données suffisante pendant au moins 1 an

Récupération d'air totale: 10 ~ 30ml

Le panneau arrière a une interface de gaz à quatre voies, les deux voies sont des interfaces d'échantillonnage, équipées d'un filtre à particules de poussière

Alimentation électrique:

Tension d'entrée: 100 ~ 240vac, 50 ~ 60 Hz

Puissance d'entrée: 100 ~ 200 W (selon les exigences spécifiques)

Interface de communication: Ethernet, USB

DKG ONE-CF₄Peut être via un smartphone, une tablette, un ordinateur ou un autre DKG one - CF₄(à venir) contrôle à distance

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Environnement

Conditions de fonctionnement

Plage de température: 0 ℃ ~ + 49 ℃

Humidité: sans condensation

Pression: 750mbar ~ 1050 mbar

Résistance à la poussière et à l'eau: IP20 (IEC 529)

Conditions de stockage

Plage de température: - 20 ℃ ~ + 60 ℃

Conditions de gaz d'échantillon

Plage de température: 0 ℃ ~ + 49 ℃

Humidité: sans condensation, humidité relative maximale de 80% à des températures allant jusqu'à 35°c,

Chute linéaire jusqu'à 35% pour des températures allant jusqu'à 49°c

Pression: 750 mbar à 1050 mbar

Débit d'air: environ 1L / min

Particules < 1 μm

Analyseur de gaz spectroscopique photoacoustique CF4

Standard:

Conforme à la directive basse tension 2014 / 35 / UE, à la directive CEM 2004 / 108 / CE et à la Directive RoHS 2 2011 / 65 / UE