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Hefei chenyue Automation Engineering Co., Ltd
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Débitmètre spécial pour équipement CMP débitmètre ultrasonique série ufm400

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Vue d'ensemble

Le débitmètre ultrasonique de la série ufm400 $R $NCMP, ou polissage mécano - chimique, est une technique de meulage et de polissage précis de la surface d'une feuille de silicium par une combinaison chimique et mécanique. C'est la base matérielle de cette technologie qui permet une Planarisation globale de la surface de la tranche de silicium, fournissant une bonne base pour les processus ultérieurs. Les équipements CMP sont des équipements de processus clés dans le domaine de la fabrication de semi - conducteurs.

Détails du produit

Débitmètre spécial pour équipement CMP débitmètre ultrasonique série ufm400

I. polissage mécano - chimique (CMP) Concepts de base:

CMP, C'est - à - dire le polissage mécano - chimique, est une technique de meulage et de polissage précis de la surface d'une feuille de silicium par une combinaison chimique et mécanique. C'est la base matérielle de cette technologie qui permet une Planarisation globale de la surface de la tranche de silicium, fournissant une bonne base pour les processus ultérieurs. Les équipements CMP sont des équipements de processus clés dans le domaine de la fabrication de semi - conducteurs.

Débitmètre spécial pour équipement CMP débitmètre ultrasonique série ufm400

CMP设备专用流量计UFM400系列超声波流量计


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