Conception d'atelier bio - Clean

Conception d'atelier de nettoyage biologique populairement appelé atelier sans poussière, atelier de purification, salle blanche et autres noms; Il s'agit d'exclure les particules fines, l'air nocif, les bactéries et d'autres polluants de l'air dans une certaine gamme d'espace, et de contrôler la température, la pureté, la pression intérieure, la vitesse et la distribution du flux d'air, les vibrations et l'éclairage bruyants, l'électricité statique dans une certaine plage de besoins, et la pièce spécialement conçue.

Conception d'atelier bio - CleanPopulairement appelé atelier sans poussière, atelier de purification, salle blanche et autres noms; Il s'agit d'exclure les particules fines, l'air nocif, les bactéries et d'autres polluants de l'air dans une certaine gamme d'espace, et de contrôler la température, la pureté, la pression intérieure, la vitesse et la distribution du flux d'air, les vibrations et l'éclairage bruyants, l'électricité statique dans une certaine plage de besoins, et la pièce spécialement conçue.

Conception d'atelier bio - CleanContrôle de la température et de l'humidité dans

La température et l'humidité d'un espace propre sont principalement déterminées en fonction des exigences du processus, mais dans des conditions qui répondent aux exigences du processus, le confort de la personne doit être pris en compte. Avec l'augmentation des exigences de pureté de l'air, il y a eu une tendance à la demande croissante de température et d'humidité du processus. Les exigences spécifiques du processus en matière de température seront énumérées plus tard, mais en principe, en raison de la précision de traitement de plus en plus fine, les exigences en matière de plage de fluctuation de température sont de moins en moins importantes. Par example, dans les procédés d'exposition photolithographique pour la production à grande échelle de circuits intégrés, la différence de coefficient de dilatation thermique entre le verre qui est le matériau de la plaque de masque et la Feuille de silicium est de moins en moins nécessaire. Le diamètre de la tranche de silicium de 100 um, la température a augmenté de 1 degré, ce qui a provoqué une expansion linéaire de 0,24 um, de sorte qu'il doit y avoir une température constante de ± 0,1 degré, tout en exigeant une valeur d'humidité généralement faible, car après la transpiration humaine, les produits seront contaminés, en particulier par la peur du sodium dans l'atelier de semi - conducteurs, cette température de l'atelier ne doit pas dépasser 25 degrés, l'humidité excessive crée plus de problèmes. Au - delà de 55% d'humidité relative, les parois des conduites d'eau de refroidissement peuvent se révéler et, si elles se produisent dans des appareils ou des circuits de précision, provoquer divers accidents. L'humidité relative est sujette à la rouille à 50%. En outre, lorsque l'humidité est trop élevée, la poussière collée à la surface de la plaquette de silicium sera chimiquement adsorbée sur la surface par des molécules d'eau dans l'air difficile à éliminer. Plus l'humidité relative est élevée, plus l'adhérence est difficile à enlever, mais lorsque l'humidité relative est inférieure à 30%, elle est également facile à adsorber sur la surface en raison de l'action des forces électrostatiques, tandis qu'un grand nombre de dispositifs semi - conducteurs sont sujets à un claquage. La plage d'humidité optimale pour la production de plaquettes de silicium est de 3545%.

Dispositions relatives à la pression atmosphérique

Pour la plupart des espaces propres, il est nécessaire de maintenir la pression à l'intérieur (pression statique) au - dessus de la pression à l'extérieur (pression statique) afin d'éviter toute intrusion de pollution extérieure. Le maintien de la différence de pression doit généralement respecter les principes suivants:

1. La pression dans un espace propre doit être supérieure à la pression dans un espace non propre.

2. La pression dans les espaces de haut niveau de propreté doit être plus élevée que dans les espaces adjacents de bas niveau de propreté.

Le maintien de la différence de pression repose sur le nouveau volume de vent qui compense le volume d'air qui s'échappe des crevasses sous cette différence de pression. La signification physique de la différence de pression est donc la résistance à la fuite (ou à la pénétration) du volume d'air à travers les différentes fentes de la salle blanche.

Spécification de la vitesse du flux d'air dans les salles blanches

La vitesse du flux d'air à discuter ici se réfère à la vitesse du flux d'air dans une pièce propre, la vitesse du flux d'air dans d'autres espaces propres est expliquée lors de la discussion de l'équipement spécifique.

Pour les salles blanches encombrantes, en raison de l'effet de dilution de l'air principal pour réduire le degré de pollution intérieure, le concept de nombre de changements d'air est principalement utilisé, mais pas directement le concept de vitesse, mais la vitesse du flux d'air intérieur a également les exigences suivantes;

(1) La vitesse du flux d'air de sortie de l'évent d'alimentation ne doit pas être trop grande, et la chambre climatisée simple, nécessite une atténuation plus rapide de la vitesse et un angle de diffusion plus grand.

(2) La vitesse du flux d'air soufflé à travers le plan horizontal (par exemple, la vitesse de retour sur le côté) ne doit pas être trop grande, afin de ne pas souffler les particules de surface dans le flux d'air, et provoquer une recontamination, cette vitesse ne doit généralement pas sécher 0,2 m / S.

Pour la salle de nettoyage à flux parallèle est habituellement appelé salle de nettoyage à flux laminaire, parce que principalement en raison du flux d'air "piston de l'action d'extrusion pour exclure la teinture de ligne, de sorte que la vitesse sur la section est un indicateur très important.dans le passé, toutes les références à la norme américaine 20gb, l'utilisation de 0,45 M / S. mais les gens comprennent également que la quantité de ventilation nécessaire à une telle vitesse est énorme, afin d'économiser de l'énergie, sont également à la recherche de la faisabilité de réduire la vitesse du vent.

Dans notre pays, les mesures techniques de nettoyage de l'air et (spécifications de conception d'usine propre) sont spécifiées de cette manière.

Salle blanche à flux vertical parallèle (flux laminaire) ≥ 0,25 m / s

Salle blanche à écoulement parallèle horizontal (laminaire) ≥ 0,35 M / s

Contrôle du bruit

Les normes de bruit des salles blanches sont généralement strictes par rapport aux normes de protection de la santé, dans le but de garantir le bon déroulement des opérations, de répondre aux conversations nécessaires et de créer un environnement de travail sûr et confortable. Ainsi, les principaux indicateurs de mesure du bruit dans une salle blanche sont:

1. Effets de la gêne

En raison du bruit, les gens se sentent mal à l'aise et créent des émotions gênantes, généralement classées en extrêmement calme, très calme, plus calme, un peu bruyant, relativement bruyant et extrêmement bruyant 7 niveaux de nuisance. Lorsque le niveau de réponse appartient à des personnes très bruyantes et extrêmement bruyantes, c'est - à - dire que la gêne est élevée, le pourcentage de personnes très dérangées dans le nombre total de personnes est un taux de gêne élevé.

2 effets sur l'efficacité du travail

Cela concerne principalement les trois niveaux de réaction, qui sont: concentration, précision des mouvements, vitesse de travail

3. Perturbation des communications intégrées

Ceci est principalement divisé en: clair ou satisfaisant, légèrement difficile, difficile, impossible

Les trois indicateurs ci - dessus sont évalués avec un niveau sonore a. Dans les années 50, il a été proposé d'utiliser une courbe spectrale comme critère d'évaluation, c'est - à - dire que le niveau de pression acoustique à la fréquence centrale de chaque bande ne doit pas dépasser cette courbe. Plus tard, on a appris que le niveau de brosse a pour mesurer le bruit et le niveau de nuisance vocale du bruit est plus approprié, peut remplacer le niveau de pression acoustique de la bande d'octave comme indicateur de la norme d'évaluation.

Il y a des exigences élevées. Ici, il est nécessaire d'expliquer d'abord comment une salle blanche sans fenêtre est éclairée:

(1) Éclairage général

Il fait référence à l'éclairage prévu pour éclairer toute la zone éclairée, sans tenir compte des besoins locaux particuliers.

(2) Éclairage local

Il s'agit de l'éclairage mis en place pour augmenter l'éclairement d'un endroit, tel qu'un point de travail. Mais l'éclairage à l'intérieur est généralement pas utilisé seul éclairage local.

(3) éclairage mixte

Il s'agit d'un éclairage dont l'éclairement sur la surface de travail est composé d'un éclairage général et d'un éclairage local, où l'éclairement général doit représenter 10% de l'éclairement total selon le Code de conception de l'usine propre, 15%, mais pas moins sec 150lx. Le flux lumineux accepté par unité de surface éclairée est l'unité d'éclairage LUX (LX).

Les exigences de résistance des salles blanches étrangères sont élevées, par exemple les exigences de plusieurs normes américaines sur les salles blanches sont,La lumière artificielle 300lx a un meilleur effet, 500X est également autorisé lorsque la pièce est plus fine. Pour les endroits à éclairer par une lumière rouge, tels que les ateliers de lithographie dans l'industrie électronique, son éclairement est généralement (25501x),L'utilisation de la lumière naturelle peut permettre un éclairage plus élevé, ce qui est bénéfique pour le travail, de sorte qu'à l'avenir, l'éclairage des salles blanches à la fois artificiel et naturel peut être prometteur, ce qui est également un mouvement pour économiser de l'énergie.

Antistatique

Les accidents dus à l'électricité statique se produisent fréquemment dans les salles blanches, de sorte que la capacité antistatique des salles blanches est devenue un aspect non négligeable de l'évaluation de leur qualité.

L'électricité dite statique, est due à la friction et d'autres raisons qui perturbent l'état uniforme de neutralité électrique d'une quantité égale de charges positives (+) négatives (-) dans l'objet, tandis que l'excès de charge, l'objet prend un état chargé, puisque ces niveaux de charge ne sont pas fluides, Il est appelé électrostatique.

Les accidents causés par l'électricité statique dans une salle propre ont les aspects suivants

1. Choc électrostatique causé par l'électricité statique, provoquant un sentiment d'insécurité et de peur chez une personne et pouvant causer des blessures secondaires (par exemple, une personne tombe en raison d'un choc électrique, est blessée par une chute);

2. Décharge électrostatique induite par le courant de décharge, peut entraîner des perturbations et des actions incorrectes telles que les composants semi - conducteurs, tels que mettre 50 pièces de circuit P - MOS dans un sac en plastique, après plusieurs secousses, et la grille non - porte gravement cassé compteur 39 pièces, perte de rendement jusqu'à 78%, c'est parce que le dispositif semi - conducteur est très sensible à la décharge électrostatique;

3. Les ondes électromagnétiques générées par les décharges électrostatiques peuvent provoquer des bruits et des actions erronées des instruments et appareils électroniques;

4. L'émission de lumière par décharge électrostatique peut entraîner une destruction photosensible telle que des pièces de membres photographiques;

5. Le phénomène mécanique de l'électricité statique peut entraîner des trous de tamis bloqués par la poussière, des fils de filature encombrés, des inégalités profondes dans les impressions et la contamination des produits.

La génération d'accidents électrostatiques réside principalement dans la production et l'accumulation d'électricité statique, tandis que l'écoulement du flux d'air, le frottement du flux d'air et des tuyaux, des bouches d'air, des filtres, etc., le frottement du corps humain et des vêtements, le frottement entre les vêtements, le broyage sur Le processus, les opérations telles que la pulvérisation, le jet, le lavage, l'agitation, le collage et le décapage, toutes ces options peuvent produire de l'électricité statique et, en général, plus il s'agit d'un non - conducteur (isolant) de faible conductivité, qui se comporte comme étant d'autant plus susceptible d'être chargé qu'

Le problème de l'électricité statique est donc particulièrement grave dans les salles blanches, car non seulement dans les salles blanches il y a de nombreux facteurs de processus susmentionnés pour générer de l'électricité statique, mais aussi parce que de nombreux matériaux dans les salles blanches tels que le sol en plastique, les murs, le nylon, les vêtements de travail de précision et autres ont une résistivité électrique élevée, sont très susceptibles de produire de l'électricité statique et de l'électricité statique concentrée, avant que les catastrophes électrostatiques dans les salles blanches ne soient pas prises en compte, ces matériaux sont largement utilisés.