Plate - forme optique antivibratoire Active Desktop - plate - forme antivibratoire Active Desktop - Herz ts Series

Résumé:

Au XXIe siècle, les nanotechnologies (telles que les semi - conducteurs avancés qui représentent les technologies liées à l'information, les technologies liées à la science telles que la thérapie génique, le traitement atomique ou moléculaire, les technologies d'ingénierie telles que les MEMS et la génération de nouveaux matériaux), les vibrations, le bruit, les champs électromagnétiques, la chaleur, l'humidité, les perturbations, etc., seront des contraintes pour mesurer l'environnement. En nanotechnologie, pour obtenir des résultats fiables, il est difficile d'utiliser la gamme de basses fréquences de l'isolation vibratoire de la table flottante à air, nécessitant une isolation active des vibrations.

Table active antivibratoire - Herz ts Series Advanced Active Vibration Isolation System servira de base à la technologie d'isolation vibratoire pour la nanotechnologie du 21ème siècle et contribuera à promouvoir les technologies et les mesures actuelles, à innover et à développer des technologies inconnues. La série ts offre une excellente isolation active des vibrations sur les six degrés de liberté sur une large plage de 0,7 Hz à 100 Hz.

Principe de fonctionnement:

Plate - forme Optique active d'isolation vibratoire de bureau - plate - forme Optique active d'isolation vibratoire de bureau - Herz ts Series dotée d'une technologie d'isolation vibratoire avancée capable d'isoler les vibrations dans 6 directions spatiales (horizontales et verticales), la série ts utilise un capteur d'accélération piézo - électrique à l'intérieur du Contrôleur Pour convertir le signal de pression des vibrations extérieures en un signal électrique envoyé dans un transducteur piézo - électrique dans le module d'isolation. Le transducteur piézo - électrique produira ensuite un signal de pression de taille égale à la pression entrante et de direction opposée pour éliminer les vibrations entrantes. Le système d'isolation vibratoire utilise une boucle de rétroaction pour éliminer la résonance mécanique du système d'isolation vibratoire.

Comparaison des performances (TS-150/LP) etPour:

– contraste d’accélération vibratoire

Les données de droite montrent les propriétés d'isolation vibratoire du TS - 150 / LP, horizontalement (X, y) et verticalement (z).

Ligne bleue: accélération des vibrations du sol

Ligne rouge: accélération de la plaque de montage en surface TS - 150 / LP

– taux de transmission des vibrations

Les données de droite indiquent la transmission des vibrations du sol à la plaque de montage en surface TS - 150 / LP, horizontalement (X, y) et verticalement (z).

Axe vertical: taux de transfert en DB

(20 dB = x 10, 0 dB = x 1, -20 dB = x 0,1, -40 dB = x 0,01, -60 dB = x 0,001)

Ces données indiquent que le système d'isolation active présente d'excellentes propriétés d'isolation vibratoire dans la gamme de basses fréquences 1 Hz - 100 Hz.

Plate - forme optique antivibratoire Active Desktop - plate - forme optique antivibratoire Active Desktop - Herz ts Series paramètres techniques:

Combiné avec un diapason pour créer un environnement de mesure optimalPour:

Pour les études atomiques ou moléculaires telles que la microscopie électronique à balayage, les systèmes d'isolation active des vibrations de la série ts sont essentiels. En outre, non seulement les vibrations doivent être prises en compte, mais aussi la suppression acoustique. Les boîtiers insonorisés AEK que nous fabriquons conviennent aux applications à très haute résolution telles que SPM. L'intégration des séries AEK et ts offre un environnement de mesure optimal.

Avec barre d'isolation AEK - 2002: le système AEK utilise plusieurs couches de matériau d'isolation acoustique à densité variable pour isoler efficacement le bruit à large bande de fréquence.

Exemples d'applications tsPour: