Machine de développement de type de table

NégociableMise à jour sur02/09

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Nature du fabricant: producteurs

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Vue d'ensemble

La machine de développement de type de table MSD - 150D est principalement appliquée au processus de développement après exposition. L'équipement se compose principalement de l'unité de cavité de développement, de l'unité de bras oscillant automatique, ainsi que du système d'alimentation en liquide, du système de broche, du système de contrôle et du système d'évacuation des liquides, etc., la machine entière adopte la structure du cadre, l'extérieur est en acier inoxydable miroir, sans poussière et sans particules adsorbées, la méthode de travail est la feuille supérieure et inférieure manuelle, le processus de développement est terminé automatiquement.

Détails du produit

Machine de développement de type de tableMSD - 150D: pour les processus de traitement de surface avec des exigences élevées en matière d'uniformité et de cohérence de développement, convient aux plaques de silicium, au phosphure d'indium, au carbure de silicium, au Nitrure de gallium, etc. Il est principalement appliqué aux plaquettes de 4, 6 pouces et aux plaquettes carrées. Idéal pour les universités, les instituts et les entreprises clientes.

Cette Division fournit également 8 pouces, 12 pouces type de table machine de développement, plus de fonctions telles que le soufflage, le lavage arrière, etc s'il vous plaît consulter.

Machine de développement de type de tableMSD - 150D: le substrat de l'unité de développement adopte la méthode de fixation du volet périphérique supplémentaire par aspiration sous vide, adopte le servomoteur importé, garantit une vitesse de rotation, une accélération, une précision de contrôle élevée et une bonne répétabilité; Le système d'alimentation en liquide est alimenté directement par l'usine ou le récipient à pression.

Machine de développement de type de tableLe système de contrôle MSD - 150D est contrôlé par l'écran tactile et le mode PLC, qui affiche en temps réel l'exécution de chaque fonction de processus pendant le fonctionnement de l'appareil. Permet l'édition gratuite des recettes, la modification, l'édition, le stockage et la mise en service des recettes de processus.

Machine de développement de type de tableSpécifications techniques:

projet

spécification

Sujet

Matériau du boîtier: acier inoxydable miroir

Taille de l'échantillon traité: dans un Wafer de 6 pouces

Disque de roulement: PTFE

Moteur:

Vitesse de rotation: 20 - 3000 r.p.m

Bras oscillant: automatique

Interface de fonctionnement: écran tactile de 7 pouces

Dispositif de développement

Dispositif de liquide pharmaceutique:

Développement X1 (réglage de la température en option)

DIW x1

Système de contrôle

Système: PLC

Utilisation de l'interface: écran tactile de 7 pouces

Formule: mode manuel et automatique

Programmation: 50 groupes de 20 étapes

Dispositifs de sécurité

Disque porte - plaquettes protection contre les infiltrations sous vide:

Connaissance du vide:

Réglage numérique: protection de la limite inférieure de la valeur du vide

Conseils d'alarme de fin d'exécution

pièce jointe

Pompe à vide x1

Réservoir de développement x1

Réservoir d'eau désionisée x1

Seau pour déchets liquides x1

Ventouse à vide x1

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