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Hefei Heavy Light Electronic Technology Co., Ltd
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Hefei Heavy Light Electronic Technology Co., Ltd

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Imageur de table

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Catégorie de produit
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Vue d'ensemble
L'imageur de table MSD - 150D est principalement utilisé dans le processus de développement après exposition. L'équipement se compose principalement de l'unité de cavité de développement, de l'unité de bras oscillant automatique, ainsi que du système d'alimentation en liquide, du système de broche, du système de contrôle et du système d'évacuation des liquides, etc., la machine entière adopte la structure du cadre, l'extérieur est en acier inoxydable miroir, sans poussière et sans particules adsorbées, la méthode de travail est la feuille supérieure et inférieure manuelle, le processus de développement est terminé automatiquement. $R $n type de table imageur unité de développement substrat adopte aspiration sous vide supplémentaire baffle périphérique méthode de fixation, en utilisant le servomoteur importé, pour garantir la vitesse de rotation, accélération, haute précision de contrôle, bonne répétabilité; Le système d'alimentation en liquide est alimenté directement par l'usine ou le récipient à pression.
Détails du produit

Imageur de tableLe MSD - 150D est utilisé dans les processus de traitement de surface qui exigent des exigences élevées en matière d'uniformité et de cohérence du développement et convient aux plaques de silicium, au phosphure d'indium, au carbure de silicium, au Nitrure de gallium, etc. Il est principalement appliqué aux plaquettes de 4, 6 pouces et aux plaquettes carrées. Idéal pour les universités, les instituts et les entreprises clientes.

Cette Division fournit également 8 pouces, 12 pouces type de table machine de développement, plus de fonctions telles que le soufflage, le lavage arrière, etc s'il vous plaît consulter.

Imageur de tableSpécifications techniques:

projet

spécification



Sujet

Matériau du boîtier: acier inoxydable miroir

Taille de l'échantillon traité: dans un Wafer de 6 pouces

Disque de roulement: PTFE

Moteur:

Vitesse de rotation: 20 - 3000 r.p.m

Bras oscillant: automatique

Interface de fonctionnement: écran tactile de 7 pouces


Dispositif de développement

Dispositif de liquide pharmaceutique:

Développement X1 (réglage de la température en option)

DIW x1



Système de contrôle

Système: PLC

Utilisation de l'interface: écran tactile de 7 pouces

Formule: mode manuel et automatique

Programmation: 50 groupes de 20 étapes



Dispositifs de sécurité

Disque porte - plaquettes protection contre les infiltrations sous vide:

Connaissance du vide:

Réglage numérique: protection de la limite inférieure de la valeur du vide

Conseils d'alarme de fin d'exécution



pièce jointe

Pompe à vide x1

Réservoir de développement x1

Réservoir d'eau désionisée x1

Seau pour déchets liquides x1

Ventouse à vide x1