Nettoyeur plasma pour nettoyage à sec

I. fonctionnement de l'équipementRaison

Le plasma est un état d'existence de la matière dans lequel les substances suivantes sont présentes: électrons en mouvement à grande vitesse; Atomes neutres, molécules, groupements atomiques (radicaux libres) à l'état actif; Atomes, molécules ionisées; Molécules, atomes, etc., qui n'ont pas réagi, mais la matière reste globalement électriquement neutre.

Trymax Neo Series traite la surface de l'échantillon en exploitant les propriétés de ces composants actifs, en produisant un plasma désordonné de haute énergie grâce à une alimentation RF / micro - ondes qui brille dans certaines conditions de vide, en bombardant la surface du Produit nettoyé par plasma, ce qui permet le nettoyage, la modification, le grisonnement de la gomme photolithographique, etc.

Deux,Trymax NEO Série DevraitUtiliser

La voie avant:Lumière gravure ; Descum bande; PR Ashing； Après l'implantation ionique, après la lithographie, avant le revêtement et d'autres processus technologiques; Voie arrière / Packaging avancé / 3D IC : Descum chocs; MEMS; Plasma Traitement; plaquette Cleaning et autres.

DispenseMate®La technologie de contrôle de distribution fournie par le système est basée surNord asymtekSystème avancé de distribution en ligne, y compris le contrôle en boucle ferméeDCSystème de contrôle de mouvement servo,Jet-on-the-FlyFonction de distribution par jet et Programmable intuitivement pour le clientFluidmove ®Logiciel.

D'autres configurations standard comprennent un détecteur de hauteur mécanique intégré et un système de vision d'identification entièrement automatique avec une source lumineuse contrôlée par programme. En outre, la configuration standard comprend une buse Programmable en boucle fermée ainsi qu'un contrôle du chauffage de l'aiguille qui est programmé pour surveiller la température et enregistrer des données. Il comprend également un contrôle dynamique de la distribution qui permet la distribution de petits points.

Hors ligne MFC/CPJOuiD-593La performance standard du type, En pesant l'échantillon dans la plage de valeurs de l'utilisateur et en entrant manuellement les valeurs mesurées àFluidmoveLe calcul automatique du trafic est implémenté.

FluidmoveLe programme de programmation est compatible vers le haut et peut être facilement transféré à d'autresNordson ASYMTEKSystème en ligne, y comprisSpectre II^TMetQuantum®Plateforme de distribution.

Par ailleurs,FluidmoveLogiciel fourniSPCEnregistrement de données pour la traçabilité des processus et optionnelCADImportation.

De la production en série à la production de masse, les utilisateurs obtiendront toujoursNordson ASYMTEKSoutenu par un réseau expérimenté d'ingénierie, de développement d'applications et de services techniques dans le monde entier.

TrymaxGravure et gravure plasma avancéeNEO300A / NEO200APlateforme série

Le NEO300ALa plateforme série estTrymaxIndustrie des équipements semi - conducteurs deNEOSérie de produits avancés de gravure et de gravure plasma Un des nouveaux membres.

Il s'agit d'un système mono - chambre entièrement automatisé qui peut être configuré avec n'importe quel existantTrymax NEOModule de processus et avec diamètre jusqu'à300 mmLe substrat est compatible. Petite empreinteLe NEO300AConfiguré avec un seul port de montage.

• Caractéristiques

- grand300Taille de la plaquette millimétrique/Dimensions du substrat

-Capacité d'outils de pont200-300mm

-uniqueSMIFPort de chargement

-3Traitement robotique à double bras axial

-4Différents modules de traitement:

• micro - ondes en aval (2,45 GHz) et

• polarisation RF (13,56 MHz) et

• double source (micro - ondes, polarisation RF)

•DCP(RFPolarisation, couplage direct au plasma)

-Excellente uniformité et répétabilité

-Débit mécanique> 100wph

-Une empreinte compacte

-Très faible coût de possession

- Contrôle numérique,DevicenetEthernet

-Ordinateur industriel basé sur fenêtre

• Applications

-Bande de blocage

- descumtraitement

-Enlever le polymère

-Envoi de bandes d'implants à forte dose

-Applications de gravure au Nitrure de silicium

MEMSapplication

-Traitement d'emballage (PR,PI,BCB,PBO) et

NEO200ALa plateforme série estTrymaxIndustrie des équipements semi - conducteurs deNEOSérie de produits avancés de grisonnement et de gravure Nouveaux membres.

Il s'agit d'un système mono - chambre entièrement automatisé qui peut être configuré avec n'importe quel existantTrymax NEOModule de processus et avec diamètre jusqu'à200 mmLe substrat est compatible. Petite empreinteNEO200AConfiguré avec double cassette.

• Caractéristiques

- grand200 mmTaille de la plaquette/Dimensions du substrat

-Plate - forme à double boîte

-3Traitement robotique à double bras axial

-4Différents modules de traitement:

• micro - ondes en aval (2,45 GHz) et

• polarisation RF (13,56 MHz) et

• double source (micro - ondes, polarisation RF)

•DCP(RFPolarisation, couplage direct au plasma)

-Excellente uniformité et répétabilité

-Débit mécanique> 100wph

-Une empreinte compacte

-Très faible coût de possession

- Contrôle numérique,DevicenetEthernet

-Ordinateur industriel basé sur fenêtre

• Applications

-Bande de blocage

- descumtraitement

-Enlever le polymère

-Envoi de bandes d'implants à forte dose

-Applications de gravure au Nitrure de silicium

MEMSapplication

-Traitement d'emballage (PR,PI,BCB,PBO) et

Équipement semi-conducteur TrymaxdeNEO200Grisation plasma avancée de série/Le système de gravure est Nouvelle colle lithographique et équipement de gravure, disponible à un prix incroyable La performance. Exclusivement pour grand200 mmSubstrat appliqué et conçu.

Il est équipé d'une station de chargement flexible qui peut être configurée pour la manutention grand200 mmToutes les différentes tailles de substrats.

NEO200La série intègre toutes les exigences de la recherche et de la conception compacte des fabricants d'équipements, ce qui permet Faible coût de possession.

• Caractéristiques

- grand200 mmTaille de la plaquette/Dimensions du substrat

-Plate - forme de chargement unique pour la transmission semi - automatique de plaquettes.

-4Différents modules de traitement:

• micro - ondes en aval (2,45 GHz) et

• polarisation RF (13,56 MHz) et

• double source (micro - ondes, polarisation RF)

•DCP(RFPolarisation, couplage direct au plasma)

-Excellente uniformité et répétabilité

-Une empreinte compacte

-Très faible coût de possession

- Contrôle numérique,DevicenetEthernet

-Ordinateur industriel basé sur fenêtre

• Applications

-Bande de blocage

- descumtraitement

-Enlever le polymère

-Envoi de bandes d'implants à forte dose

-Applications de gravure au Nitrure de silicium

MEMSapplication

-Traitement d'emballage (PR,PI,BCB,PBO) et