Banc de détection elliptique

I. Aperçu du produit

Technologie de lumière d'étéBanc de détection elliptiqueEn tant que petite table d'intégration elliptique, grâce à la haute modularité globale, à la technologie d'intégration électrique et gazeuse, différents modules d'Ellipsométrie en ligne / hors ligne sont réalisés.

II. Caractéristiques du produit

■Soutenir la recherche en laboratoire sur la technologie de mesure de contrôle intégré elliptique holistique;

■ prend en charge la mesure de balayage multipoint personnalisée hors ligne des grands Substrats de production et le rapport de sortie;

■ soutenir le schéma multielliptique, intégration Multi - Combo

■ soutenez le module de mesure ainsi que la personnalisation de banc d'échantillon

Iii. Scénarios d'application

Application à diverses isotropies dans la recherche scientifique, épaisseur de film de matériaux de film mince anisotropes, constantes optiques et caractérisation structurelle de nanoréseaux unidimensionnels et bidimensionnels; Domaine industriel nouvelles industries de dispositifs optoélectroniques impliquées dans l'industrie des films minces (films conjugués, photoadhésifs, Ito, films luminescents, films encapsulés) mesure à balayage rapide hors ligne de feuille entière.

Schéma de conception de référence

Programme technique elliptique hautement intégré

Paramètres techniques