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Wuhan yiguang Technology Co., Ltd
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Wuhan yiguang Technology Co., Ltd

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Capteur d'épaisseur de film série sr

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Vue d'ensemble
Épaisseur de membrane domestique, le capteur d'épaisseur de membrane de la série sr fournit une solution de mesure en ligne rapide et stable de l'épaisseur de membrane.
Détails du produit

I. Aperçu du produit

Capteur d'épaisseur de film série srFournit une solution rapide et stable de mesure en ligne de l'épaisseur du film.

II. Caractéristiques du produit

■ facile à utiliser, petit et facile à installer;

■ haute vitesse, haute résolution;

Plusieurs types de palpeurs personnalisés pour répondre aux besoins de plusieurs scénarios;

Large spectre couvrant les besoins d'épaisseur Multi - film devraitAvec;

Mesure d'épaisseur de film en ligne applicable et évaluation de la qualité;

Large spectre pour les besoins de scénarios Multi - Applications- Oui.


Iii. Principe de mesure

SR干涉原理.png

image.png

image.png

Paramètres techniques

图片1.png

* 1: calculé avec l'indice de réfraction du verre de 1,5

* 2: calculé avec l'indice de réfraction du silicium 3,67

* 3: mesure 1σ d'une épaisseur de 500 nmsio2

* 4: mesure 1σ d'un film de si d'une épaisseur supérieure à 30 µm

图片2.png

Wuhan eoptics Technology Co., Ltd. Est une entreprise nationale de haute technologie spécialisée dans la recherche, le développement, la fabrication et la vente d'ellipsomètres et d'équipements de nanomesure optique, la société a été créée conjointement par plusieurs experts avec plus de vingt ans d'expérience dans la mesure optique polarisée, en étroite coopération avec l'université chinoise des sciences et technologies, est une équipe technique avantageuse dans le domaine des instruments ellipsométriques nationaux.

La société est enregistrée dans la zone de démonstration nationale d'innovation autonome de Wuhan Donghu, basée sur la vallée de la lumière et orientée vers le monde entier, fournissant des instruments, des logiciels, des services et d'autres solutions complètes aux utilisateurs scientifiques et industriels.

Les produits sont largement utilisés dans de nombreux domaines tels que les circuits intégrés, les semi - conducteurs, l'énergie solaire photovoltaïque, les écrans plats, l'éclairage LED, le stockage, la biologie, la médecine, la chimie, l'électrochimie, le revêtement optique, les matériaux photolithographiques, etc.