FR-Scanner-AIO-Mic-XY300

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Vue d'ensemble

Fr - scanner - AIO - MIC - xy300 est un système intégré de cartographie automatique de l'épaisseur des couches minces pour la mesure entièrement automatique de l'épaisseur des revêtements monocouches et multicouches sur des plaques à motifs. La table de chargement électrique X - y offre une course de dimensions appropriées 300 mm x 300 mm mm pour des mesures précises lorsqu'elle est fixée à la table par vide. Épaisseur mesurable et gamme de longueurs d'onde applications exigences diverses configurations optiques disponibles dans la gamme spectrale 200 - 1700 nm

Détails du produit

Introduction au produit:

Le système de cartographie d'épaisseur modulaire fr - scanner allinone MIC - xy300 intègre des modules optiques, électroniques et mécaniques qui peuvent également être utilisés pour effectuer des mesures précises sur des films graphiques et non graphiques (par exemple, surfaces micrographiques, surfaces rugueuses).

Les plaquettes sont placées sur une ventouse à vide (diamètre de la taille des plaquettes ≤ 300 mm) et équipées d'une pièce standard de réflectivité. Les mesures sont effectuées par un module optique puissant, la taille du spot est aussi petite que quelques microns. La plate - forme électrique offre une course de 300 mm dans la direction XY avec d'excellentes performances en termes de vitesse, de précision et de répétabilité

FR-Scanner-AIO-Mic-XY300Sont fournis:

O mesure spectrale de réflectivité en temps réel

O Épaisseur du film, propriétés optiques, mesure des inhomogénéités, cartographie de l'épaisseur

O imagerie à l'aide d'une caméra couleur intégrée et de haute qualité connectée par USB

O paramètres de mesure statistiques générales

O fonction d'alignement semi - automatique des motifs pour mesurer les zones graphiques périodiques

oDifférentFonctions logicielles telles que: click2move (point de mesure du positionnement des clics à l'écran), scale

Annexe:

Fr - autofocus: axe linéaire de 100 mm pour autofocus avec deux modes de fonctionnement: Image Focus (contraste) / intensité de réflexion
Rotation module: la plate - forme électrique à module rotatif offre une résolution et une précision élevées
Fr - filterwheel: module de roue de filtre électrique avec fente pour 12 filtres contrôlé automatiquement par ordinateur: taille du filtre: 0,5 pouce de diamètre, jusqu'à 6 filtres (1 pouce)
Fr - autoturret: la tourelle automatique est commandée par ordinateur pour accueillir 4 Objectifs: la vitesse de commutation de l'objectif est d'environ 1,0 à 3,0 secondes
Lentilles: lentilles vis / NIR longue distance de travail: 5X, 10x, 20x, 40x, 50x
Objectif UV / NIR réfléchissant: 10x, 15X, 25x, 40x
Pompe: pompe à vide à faible bruit, 2,5 l / min, degré de vide - 60kpa.
Chucks: mandrin de photomasque 6 pouces avec zone de référence, mandrin Multi - plaquettes (100 - 300 mm et pièces de forme irrégulière), y compris la zone de référence et la zone sombre pour le Benchmark automatique

spécifications

屏幕截图 2024-03-25 104700.png

Diagramme d'épaisseur bidimensionnel:

FR-Scanner XY-300_1.jpg

Diagramme d'épaisseur 3D:

FR-Scanner XY-300_2.jpg

Principe de mesure: 屏幕截图 2024-03-25 105726.png

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